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식각 장비 부품 기술 - RF 제너레이터, 매처, ESC (유튜브)
| 정진욱 | 62 |
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극저온 플라즈마 식각 기술 (유튜브 인터뷰 )
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SK 하이닉스 Etch Plasma Research Center 개소식
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원자층 식각 기술 (Atomic Layer Etching) 인터뷰 (유튜브)
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2023 동계 진공학회 정진욱 교수 학술상 수상
| 정진욱 | 151 |
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2008 하이닉스 -나노 반도체 프로그램이 시작되었습니다.
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AE korea 연구 지원 협약시
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2단계 BK21사업 수탁하게되었습니다.
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Gaseous Electronics Conference 2008년
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2023 동계 진공학회 우수 포스터상 (박준영 박사 과정 )
| 정진욱 | 184 |
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우수 논문상 - 춘계 반도체 디스플레이 기술 학회
| 정진욱 | 186 |
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** 하이닉스에서 지원하는 나노 반도체 대학원에 본 연구실 참여하게 되었음.
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미국 워싱텅 DC에서 개최되는 Gases Electronics Conference 2007 학회에
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한양 스마트 반도체 연구원 설립(HY-ISS)
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미국 달라스에서 열린 Gaseous Electronics Conference 2008에서 본 연구실에서 8편의 우수한 논문들을 발표하였습니다.
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반도체 공정 모니터링 장비 개발
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2022년 8월 졸업, 김관용 박사, 전상범 박사 졸업 축하
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2021년 반도체의 날, 산업통상부 장관상 수상
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6월 미국 뉴멕시코에서 있었던 IEEE Plasma science 학회를 조성원, 방진영 학생이 논문발표하고 왔습니다.
| Plasma | 292 |
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2009년도 미국 텍사스 주립대 (달라스) 반도체 연구 프로그램 참여
| Plasma | 320 |