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2008 하이닉스 -나노 반도체 프로그램이 시작되었습니다.
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Plasma
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2008.03.06 11:34
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2008 하이닉스 -나노 반도체 프로그램이 시작되었습니다.
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번호
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Gaseous Electronics Conference 2008년
Plasma
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2008 하이닉스 -나노 반도체 프로그램이 시작되었습니다.
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2단계 BK21사업 수탁하게되었습니다.
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식각 장비 부품 기술 - RF 제너레이터, 매처, ESC (유튜브)
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반도체 공정 모니터링 장비 개발
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우수 논문상 - 춘계 반도체 디스플레이 기술 학회
정진욱
627
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미국 달라스에서 열린 Gaseous Electronics Conference 2008에서 본 연구실에서 8편의 우수한 논문들을 발표하였습니다.
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미국 워싱텅 DC에서 개최되는 Gases Electronics Conference 2007 학회에
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630
43
2023 동계 진공학회 정진욱 교수 학술상 수상
정진욱
632
42
2023 동계 진공학회 우수 포스터상 (박준영 박사 과정 )
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2025년 SK 하이닉스 식각 플라즈마 연구 센터 1차년도 발표회
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AE korea 연구 지원 협약시
정진욱
665
39
한양 스마트 반도체 연구원 설립(HY-ISS)
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38
2024 하반기 플라즈마 워크숍
정진욱
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37
** 하이닉스에서 지원하는 나노 반도체 대학원에 본 연구실 참여하게 되었음.
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703
36
2019년 11월 GEC 학회 발표 (College Station, TEXAS)
이무현
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35
▲주 제 : 플라즈마를 이용한 반도체 공정 이해
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6월 미국 뉴멕시코에서 있었던 IEEE Plasma science 학회를 조성원, 방진영 학생이 논문발표하고 왔습니다.
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한국 반도체 산업협회에서 주관하는 논문 공모에서 김유신 박사과정이 대상을 수상하게 되었습니다.
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삼성미래기술과제 트로피
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