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Gaseous Electronics Conference 2008년
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2단계 BK21사업 수탁하게되었습니다.
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2008 하이닉스 -나노 반도체 프로그램이 시작되었습니다.
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반도체 공정 모니터링 장비 개발
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미국 워싱텅 DC에서 개최되는 Gases Electronics Conference 2007 학회에
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미국 달라스에서 열린 Gaseous Electronics Conference 2008에서 본 연구실에서 8편의 우수한 논문들을 발표하였습니다.
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우수 논문상 - 춘계 반도체 디스플레이 기술 학회
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식각 장비 부품 기술 - RF 제너레이터, 매처, ESC (유튜브)
| 정진욱 | 708 |
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2023 동계 진공학회 정진욱 교수 학술상 수상
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2023 동계 진공학회 우수 포스터상 (박준영 박사 과정 )
| 정진욱 | 711 |
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AE korea 연구 지원 협약시
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한양 스마트 반도체 연구원 설립(HY-ISS)
| 정진욱 | 756 |
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2012년도 새해 부터 연구실에 한국 반도체 조합에 주최하고 한국램리서치에 후원하는 논문 대회에서 최우수상과 우수상을 받았습니다. 큰 상을 받았습니다.
| 정진욱 | 782 |
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2019년 11월 GEC 학회 발표 (College Station, TEXAS)
| 이무현 | 782 |
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▲주 제 : 플라즈마를 이용한 반도체 공정 이해
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삼성미래기술과제 트로피
| 정진욱 | 784 |
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6월 미국 뉴멕시코에서 있었던 IEEE Plasma science 학회를 조성원, 방진영 학생이 논문발표하고 왔습니다.
| Plasma | 785 |
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한국 반도체 산업협회에서 주관하는 논문 공모에서 김유신 박사과정이 대상을 수상하게 되었습니다.
| 정진욱 | 788 |
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삼성전자 반도체 연구소 산학 과제 진행 중
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2009년도 미국 텍사스 주립대 (달라스) 반도체 연구 프로그램 참여
| Plasma | 798 |
