한양대학교 플라즈마 전자공학 연구실
б
제목 CCP(Capacitively Coupled Plasma) 2
글쓴이 플라즈마 연구실 날짜 2006.07.31 13:36 조회 수 2662





플라즈마가 켜진 상태에서 외부에서 본 챔버모습과

극판과 프로브에 좀더 촛점을 맞춘 사진입니다..