한양대학교 플라즈마 전자공학 연구실
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제목 페라이트 ICP(Inductively Coupled Plasma) 4
글쓴이 플라즈마 연구실 날짜 2006.05.02 17:17 조회 수 1343



챔버안을 바라보면 300mm 가상 웨이퍼가 보입니다..