include "head.html" ?>
ÇöóÁ¶ó´Â ¸»À» ¹°¸®ÇÐ ¿ë¾î·Î óÀ½ »ç¿ëÇÑ »ç¶÷Àº ¹Ì±¹ÀÇ ¹°¸®ÇÐÀÚ Langmuir (¶û¹¿¾î)·Î¼, Àü±âÀûÀÎ ¹æÀüÀ¸·Î ÀÎÇØ »ý±â´Â ÀüÇϸ¦ ¶í ¾çÀ̿°ú ÀüÀÚµéÀÇ Áý´ÜÀ» ÇöóÁ¶ó°í ÇÏ°í ±× ¹°¸®ÀûÀÎ ¼ºÁúÀ» ¿¬±¸ÇÏ´Â °ÍÀÌ ÇöóÁ ¹°¸®ÇÐÀÌ´Ù. ÇöóÁ¶õ ¼ÒÀ§ 'Á¦ 4ÀÇ ¹°Áú»óÅÂ' ¶ó°í ¾Ë·ÁÁ® ÀÖÀ¸¸ç, ¿ìÁÖÀÇ 99%°¡ ÇöóÁ »óÅ·ΠÀÌ·ç¾îÁ® ÀÖ´Ù´Â »ç½Ç ¶ÇÇÑ ÀÌ¹Ì Àß ¾Ë·ÁÁ®ÀÖ´Ù. ¹°Áú Áß °¡Àå ³·Àº ¿¡³ÊÁö »óÅ´ °íüÀε¥ ÀÌ°ÍÀÌ ¿(¿¡³ÊÁö)À» ¹Þ¾Æ¼ Â÷Ãû ¾×ü·Î µÇ°í ±× ´ÙÀ½¿¡´Â ±âü·Î ÀüÀ̸¦ ÀÏÀ¸Å²´Ù. ±âü°¡ ´õ Å« ¿¡³ÊÁö¸¦ ¹ÞÀ¸¸é »óÀüÀÌ¿Í´Â ´Ù¸¥ ÀÌ¿ÂÈµÈ ÀÔÀÚµé, Áï ¾ç°ú À½ÀÇ ÃÑ ÀüÇÏ ¼ö°¡ °ÅÀÇ °°Àº ÀüüÀûÀ¸·Î´Â Àü±âÀûÀÎ Áß¼ºÀ» ¶ç´Â ÇöóÁ »óÅ·Πº¯È¯ÇÑ´Ù.
ÇöóÁ¶ó´Â ¿ë¾î°¡ ÀϹÝÀε鿡°Ô´Â »ý¼ÒÇÏ°Ô µé¸±Áö´Â ¸ð¸£Áö¸¸ °¢ °¡Á¤¿¡¼ Á¶¸íµîÀ¸·Î »ç¿ëÇÏ°í ÀÖ´Â Çü±¤µîÀ̳ª, ±æ°Å¸®¿¡¼ ÈçÈ÷ º¼ ¼ö ÀÖ´Â ³×¿Â»çÀÎ, ÇÑ ¿©¸§¿¡ ¼Ò³ª±â°¡ ½ñ¾ÆÁö¸é¼ ÀÚÁÖ ¹ß»ýÇÏ´Â ¹ø°¹ºÒ°ú °°Àº °ÍµéÀÌ ÇöóÁ »óŶó°í Çϸé ÀÌÇØÇϱⰡ ½¬¿ï °ÍÀÌ´Ù. ÇöóÁ »óÅ´ ±× ¹Ðµµ¿Í ¿Âµµ¸¦ ÁÖ ÆĶó¹ÌÅÍ·Î »ç¿ëÇϸç ÀÌ µÎ°¡Áö ¿ä¼Ò¿¡ µû¶ó ±¤¹üÀ§ÇÏ°Ô ºÐ·ùµÇ¾îÁú ¼ö°¡ ÀÖ´Ù.
ÀÌÁß °ø¾÷ÀûÀ¸·Î ÀÌ¿ëÀÌ È°¹ßÇÑ ÇöóÁ´Â Àú¿Â ±Û·Î¿ì ¹æÀü ÇöóÁ·Î¼ ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤¿¡¼ ÇöóÁ ½Ä°¢(Plasma Etch) ¹× ÁõÂø(PECVD: Plasma Enhanced -Chemical Vapor Deposition), ±Ý¼ÓÀ̳ª °íºÐÀÚÀÇ Ç¥¸éó¸®, ½Å¹°ÁúÀÇ ÇÕ¼º µî¿¡¼ ÀÌ¿ëµÇ°í ÀÖ´Ù. °øÁ¤ÀÇ ¹Ì¼¼È, Àú¿ÂÈÀÇ Çʿ伺 ¶§¹®¿¡ ÇöóÁ °øÁ¤ÀÌ Á¾·¡ÀÇ °øÁ¤À» ´ëüÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç, °æ¿ì¿¡ µû¶ó¼´Â ÇöóÁ¸¸ÀÌ Á¦°øÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ¹°ÁúÀ̳ª ȯ°æÀ» ÀÌ¿ëÇϱâ À§ÇÑ ÀÀ¿ëºÐ¾ß°¡ Á¡Á¡ ´õ È®´ëµÇ°í ÀÖ´Ù.
ÁØÁß¼º °¡½º(Quasi-neutral gas)ÀÎ ÇöóÁ´Â ±× ¿ä¼Òµé(ÇÏÀüÀÔÀÚ¿Í Áß¼ºÀÔÀÚ)ÀÇ ÇÏÀü¼º ¶§¹®¿¡ Àü±â¸¦ Àüµµ½ÃÅ°¸ç Àü±â·ÂÀ¸·Î ÀÎÇÏ¿© Áß¼ºÈ ÇÏ·Á´Â °æÇâÀÌ ÀÖÀ¸¸ç ±×·ÎÀÎÇØ Áøµ¿À» ¾ß±â½ÃŲ´Ù. ¶ÇÇÑ ¿ÜºÎÀÇ ¿µÇâ¿¡ ÀÇÇÑ ÇöóÁÀÇ Áøµ¿µµ °í·ÁµÉ ¼ö ÀÖÀ¸¸ç, ÀÌ·¯ÇÑ ¸ðµç Áøµ¿Àº ÇöóÁÆÄÀÇ ¿øÀÎÀÌ µÈ´Ù. ÇöóÁÆÄ´Â ±× ȯ°æ¿¡ µû¶ó ¿©·¯ °¡Áö ÇüÅ·ΠºÐ»êÀÌ µÇ¾îÁö¸ç, ÇöóÁÆÄ´Â ÇÙ À¶Çշο¡¼ÀÇ ÇöóÁ °¡¿¿¡ ÀÀ¿ëµÇ¾îÁö´Â Áß¿äÇÑ ¹°¸®Àû Ư¼ºÀÌ´Ù. ¶ÇÇÑ ÇöóÁÀÇ Àüµµ¼º¿¡ ÀÇÇÑ ÀúÇ׿, ÇöóÁ¿¡ Àü·ù¸¦ Èê·ÁÁÜÀ¸·Î½á »ý¼ºµÇ´Â ¿À» ÀÌ¿ëÇÏ´Â °Íµµ ±× °¡¿¹æ¹ýÀÇ ÇÑ°¡ÁöÀÌ´Ù.
ÇöóÁ ÀÔÀÚÀÇ ÇÏÀü¼º¿¡ ÀÇÇÑ °¡Àå Å« Ư¡Àº ±× Ư¼ºÀ» ÀÌ¿ëÇÏ¿© ¿©·¯ °¡Áö ¹æ¹ýÀ¸·Î ÇöóÁ¸¦ Á¦¾î°¡´ÉÇÏ°Ô ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù´Â °ÍÀÌ´Ù. ÁÖ·Î ÀÚ±âÀåÀ» ÀÌ¿ëÇÏ¿© ÀÔÀÚµéÀ» Á¦¾îÇϸç ÀÌ ÀÚ±â Â÷Æó´Â ¿ÇÙÀ¶ÇÕ·Î ¿¬±¸¿¡¼ °¡Àå ¸¹ÀÌ ¾²ÀÌ´Â ¹æ½ÄÀÌ´Ù. ±×·¯³ª ÇöóÁ´Â ¿ª½Ã °¡½ºÀÇ È帧, Áï À¯Ã¼ÀÌ¸ç °³°³ÀÇ ÇÏÀüÀÔÀÚÀÇ ÀÚ±âÀû Â÷Æó¸¸À» °í·ÁÇÏ´Â °ÍÀº ºÒ°¡´ÉÇÏ¸ç ±×·¯¹Ç·Î À¯Ã¼¿ªÇÐÀûÀÎ ºÐ¼®ÀÌ ÇÊ¿äÇÏ°Ô µÈ´Ù. ¿©±â¼ ¹ßÀüµÈ Çй®ÀÌ ÀÚ±âÀ¯Ã¼¿ªÇÐ(MHD)ÀÌ¸ç ¿©·¯ °¡Áö Áö¹è ¹æÁ¤½ÄµéÀÌ ÇÊ¿äÇÏ°Ô µÈ´Ù. À̶§´Â ÇÏÀüÀÔÀÚ»óÈ£°£ÀÇ, ȤÀº ÇÏÀüÀÔÀÚ¿Í Áß¼ºÀÔÀڵ鰣ÀÇ Ãæµ¹·Î ÀÎÇÑ ÇöóÁÀÇ È®»êÀ̳ª, ÇÏÀüÀÔÀÚ»óÈ£°£ÀÇ Àç°áÇÕÀ¸·Î ÀÎÇÑ ÀÔÀÚ ¼Õ½Ç, ¿ÜºÎÀÇ ÀüÀÚ±âÀåÀÇ ¹æÇâ¿¡ µû¸¥ ¿©·¯ °¡Áö ÇüÅÂÀÇ µå¸®ÇÁÆ®¿¡ ÀÇÇÑ ºñ ¹Ù¶÷Á÷ÇÑ ¹æÇâÀ¸·ÎÀÇ È®»ê, Áï ºÒ¾ÈÁ¤¼º¿¡ ´ëÇÑ ¿ä¼ÒµéÀÌ °í·ÁµÇ¾îÁ®¾ß Çϸç, ÀÌ·¯ÇÑ ¿©·¯ °¡Áö ¿ä¼ÒµéÀÌ Æ÷ÇÔµÈ Áö¹è¹æÁ¤½ÄÀ¸·ÎºÎÅÍ ¿ª½Ã ¸¹Àº ÇüÅÂÀÇ ÇöóÁ ºÐ»ê°ü°è½ÄÀÌ À¯µµµÇ¾îÁø´Ù. ¸ðµç ½Ç¼¼°è°¡ ±×·¸µí ÀÌ·¯ÇÑ ¹°¸®ÀûÀ¸·Î ¾ÈÁ¤µÈ ¼±Çü¼º¸¸ÀÌ ÇöóÁ¿¡ Á¸ÀçÇÏ´Â °ÍÀº ¾Æ´Ï´Ù.
¿¹¸¦ µé¸é, Áö¹è¹æÁ¤½ÄÀÇ ´ëÀüÁ¦´Â ÇöóÁ ÀÔÀÚµéÀÌ ±× ¿¡³ÊÁö°ü°è¿¡ ÀÖ¾î ¸Æ½ºÀ£ ºÐÆ÷¸¦ µû¸¥´Ù´Â °¡Á¤ÀÌ Æ÷ÇԵǾî ÀÖÀ¸¸ç, ÀÌ´Â 100% Á¤È®ÇÑ °ÍÀÌ ¾Æ´Ï´Ù. ¶ÇÇÑ ÇöóÁ´Â ¹«ÇÑ´ëÀÇ °ø°£¿¡¼ Á¸ÀçÇÏ´Â °ÍÀÌ ¾Æ´Ï¶ó ±×°ÍÀ» °¡µÎ´Â ÀÏÁ¾ÀÇ '¿ë±â'°¡ Ç×»ó ÇÊ¿äÇϹǷÎ, ±× ¿ë±â º®°ú ÇöóÁÀÔÀڵ鰣¿¡´Â ±× ÇöóÁÀÇ Á߽ɺοʹ ¹ÐµµÃø¸é¿¡¼ ´Ù¸¥ ¾ç»óÀ» º¸À̱⵵ ÇÑ´Ù(ÇöóÁ sheathÀÇ Á¸Àç). ÀÌ·¯ÇÑ ÇöóÁÀÇ ´Ù¾çÇÏ°íµµ ÀÌÇØÇϱ⠾î·Á¿î Ư¼ºµéÀº Áö±ØÈ÷ ¸¹Àº ºÐ¾ß¿¡¼ ±× ÀÀ¿ë¼º ¹× ¿¬±¸Àû °¡Ä¡¸¦ ºÎ¿©ÇÑ´Ù. ÃÖ±Ù¿¡´Â ÄÄÇ»ÅÍÀÇ ±Þ¼ÓÇÑ Ã³¸®¼Óµµ¿Í ¿ë·® ¸é¿¡¼ÀÇ ¹ßÀüÀ¸·Î ÀÎÇØ ÇöóÁÀÇ Æ¯¼ºÀ» Çؼ®Çϴµ¥ ÀÖ¾î ¿©·¯ ½Ã¹Ä·¹ÀÌ¼Ç ÇÁ·Î±×·¥À» ÀÌ¿ëÇÏ¿© Á» ´õ ½ÇÁ¦ÀûÀÎ ÇöóÁ Çö»óµéÀ» °üÂûÇÏ°í ¿¬±¸ÇÏ°í ÀÖ´Ù.
include "foot.html" ?>