Plasma Analytic Solutions

   

 













 

 

Model 특 징 측정 변수

Wise Probe

 Probe Tip의 위치(1 Point)에서의 플라즈마 측정

 Linear Scanner 장착시 Line 분포 측정 [옵션]

 Chamber Wall Monitoring System [옵션]

 플라즈마 밀도

 Ion Flux

 전자온도

Wise Probe  2D

 2차원 플라즈마 분포 측정

 플라즈마 밀도

 Ion Flux

 전자온도

Wise Langmuir Probe

 Single Langmuir Probe 기술

 공정 플라즈마 적용은 어려움

 전자에너지 분포

 전자온도

 플라즈마 밀도

 플라즈마 전위

 

 

 Wise Probe 구성

     •  Probe Unit : 챔버 장착하여 플라즈마 신호 수집 
     •  WP Controller : Reference 신호발생, 전기신호 변환, 처리, 분석, 측정값 표시
     •  WP Software : 데이터 그래프 표시, 저장, 분석

                        

■  Probe Unit

                    

 

■  Auto Linear Scanner (Optional)

                    

 

■  Wise Probe 실시간 측정

          

                             

■  Comparison with Langmuir probes
       

     

■  Wise Probe Measuremnents Example

       •  Ar+CF4 Varying mix ratio @ 20mTorr

           

    •  Ar, O2, CF4 @ 10mTorr by Auto Linear Scanner

         

              

■  WiPS (Wise Plasma Monitoring System)

       •   Chamber Wall Mount Monitoring System

           

      •   Chamber Wall Monitoring : SRP (Surface Related Parameter)  챔버벽 표면 상태 모니터링 가능
 
                              

 

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