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Plasma Analytic Solutions |
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■ Wise Probe 구성 • Probe Unit : 챔버 장착하여 플라즈마 신호 수집 ■ Probe Unit
■ Auto Linear Scanner (Optional)
■ Wise Probe 실시간 측정
■ Comparison with Langmuir probes • Ar+CF4 Varying mix ratio @ 20mTorr • Ar, O2, CF4 @ 10mTorr by Auto Linear Scanner
■ WiPS (Wise Plasma Monitoring System) • Chamber Wall Mount Monitoring System • Chamber Wall Monitoring : SRP (Surface Related Parameter) 챔버벽 표면 상태 모니터링 가능 |
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133-791 서울특별시 성동구 행당동 17번지 HIT B107호 피앤에이 솔루션즈 TEL 070-8251-0344 HIT B107, Hanyang University, 17 Haengdang-dong, Seongdong-gu, Seoul, 133-791, KOREA |