Plasma Analytic Solutions

   

 













 

 

 Wise Probe 2D 구성

     •  2D Probe Unit : 다수의 Tip으로 구성된 2-dimension Unit을 통해 플라즈마 신호 수집 
     •  WP-2D Controller : Reference 신호발생, 전기신호 변환, 처리, 분석, 측정값 표시
     •  WP-2D Software : 2차원 데이터 분포를 그래프로 표시, 저장, 분석
 

                         

■  Probe Unit & Vacuum Cable

                    

 

■  Wise Probe 2D Measuremnents Example

     •  Plasma density @ Ar  with various power  100W → 300W

                              

 

    •  Plasma density @ Ar 6 mTorr with various power

            

    •  Ion Flux @ various Pressure SiH4

               

 

 

 

 Wise Langmuir Probe

     •  Single Langmuir 프로브 측정법 사용.
     •  측정 변수 : 전자에너지 분포, 전자온도, 플라즈마 밀도, 플라즈마 전위

 

 Wise Langmuir Probe 구성

     •  Probe Unit : 챔버 장착하여 플라즈마 신호 수집 
     •  WP SLP Controller : Reference 신호발생, 전기신호 변환, 처리, 분석, 측정값 표시
     •  WP SLP Software : 데이터 그래프 표시, 저장, 분석

                        

■  Wise Langmuir Probe Measuremnents Example

                                   

 

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