→ Last Updated: Wednesday, 29 June 2011, 22:00 GMT

No.

Date

분류

학술회의명 (Conference)

장소

발표자

발표주제(Title)

195

2013.11

국외

International Conference on Surface Engineering 2013

부산

조성원

Thermo-Compression Flipchip Interconnection using Plasma Enhanced Copper Organic Solderability Preservative Etched Substrate

194

2013.11

국외

International Conference on Surface Engineering 2013

부산

김동환

A comparative study on the floating harmonic method using dual frequency in an inductive discharge

193

2013.11

국외

9th Asia Plasma and Fusion Association Conference

경주

김동환

A plasma diagnostic technique using intermodulation frequencies in a floating Langmuir probe

192

2013.11

국외

9th Asia Plasma and Fusion Association Conference

경주

박일서

Time-resolved measurements of far-SOL plasma arameters in H-mode discharges during ELM crash using sideband technique

191

2013.09

국외

66th Gaseous Electronics Conference

Princeton

이효창

Polymerizable Supramolecular Sensor for Plasma Diagnostics on Wafer Level

190

2013.09

국외

66th Gaseous Electronics Conference

Princeton

이재원

A study of increasing radical density and etch rate using remote plasma generator system

189

2013.09

국외

66th Gaseous Electronics Conference

Princeton

강현주

Measurement of electron energy distribution functions in a low pressure and low density inductively coupled plasma

188

2013.09

국외

66th Gaseous Electronics Conference

Princeton

이효창

Evolution of Electron Temperature and Coupling between Electron Temperature and Power Absorption

187

2013.09

국외

66th Gaseous Electronics Conference

Princeton

이효창

E to H Heating Mode Transition and Hysteresis in Inductively Coupled Plasma

186

2013.09

국외

66th Gaseous Electronics Conference

Princeton

이효창

Effect of Radio Frequency Bias on the Plasma Density and Electron Heating in Inductive Discharge

185

2013.09

국외

66th Gaseous Electronics Conference

Princeton

김유신

A new method for measuring pulsed plasma with hightime resolution based on floating harmonic method

184

2013.09

국외

66th Gaseous Electronics Conference

Princeton

김영철

Non-invasive electrical method for measurement of electron temperature in an atmospheric pressure plasma jet source

183

2013.09

국외

66th Gaseous Electronics Conference

Princeton

오승주

A study on measurement of the surface charge accumulation using anodic aluminum oxide template

182

2013.09

국외

66th Gaseous Electronics Conference

Princeton

김진용

Real time monitoring of dielectric-film thickness on the surface of chamber wall for plasma processing

181

2013.08

국외

9th Asian-European International Conference On Plasma Surface Engineering

제주도

김경현

E-H transition measurement in cylindrical ICP with external DC magnetic field

180

2013.08

국외

9th Asian-European International Conference On Plasma Surface Engineering

제주도

오승주

Correlation between electrical characteristics of RF bias and plasma parameters in biased inductively coupled

179

2013.08

국외

9th Asian-European International Conference On Plasma Surface Engineering

제주도

이효창

Photochromic Polymer Sensor for Plasma Diagnostic

178

2013.08

국외

9th Asian-European International Conference On Plasma Surface Engineering

제주도

이효창

Effect of Antenna Size on the E to H Heating Mode Transition in Inductively Coupled Plasma

177

2013.08

국외

9th Asian-European International Conference On Plasma Surface Engineering

제주도

이효창

Effect of Flow Rate related to Pressure Gradient in Plasma Process Reactor

176

2013.08

국외

9th Asian-European International Conference On Plasma Surface Engineering

제주도

문준현

Experimental verification of the characteristic of plasmas on the effect of antenna turns in inductively coupled plasmas

175

2013.08

국외

9th Asian-European International Conference On Plasma Surface Engineering

제주도

조성원

Effect of Flow Rate on the Plasma Parameters in a Dual Type Inductively Coupled Plasma

174

2013.06

국외

2013 International Forum on Functional Materials

제주도

김영철

Gas temperature measurement in atmospheric pressure plasma sources

173

2013.06

국외

IEEE Pulsed power & plasma science PPPS 2013

San Francisco

박일서

OBSERVATION OF THE ELM ACTIVITY THE FAR SOL REGION OF KSTAR TOKAMAK PLASMA USING PROBE DIAGNOSTICS

172

2013.06

국외

IEEE Pulsed power & plasma science PPPS 2013

San Francisco

김동환

ADVANCED ELECTROSTATIC PLASMA DIAGNOSTIC USUNG SIDEBAND FLOATING HARMONIC METHOD

171

2013.02

국내

제 44회 한국진공학회

평창

강현주

저밀도 유도 결합 플라즈마에서 전자 에너지 분포 측정

170

2013.02

국내

제 44회 한국진공학회

평창

박일서

이중 주파수의 위상변화에 따른 자기바이어스를 이용한 플라즈마 변수 측정

169

2013.02

국내

제 44회 한국진공학회

평창

김진용

평판형 탐침을 이용한 공정 챔버 벽 증착 막 두께 측정

168

2013.02

국내

제 44회 한국진공학회

평창

김동환

다양한 부유 고조화파 탐침법의 비교연구

167

2013.02

국내

제 44회 한국진공학회

평창

김유신

펄스플라즈마에서 부유고조화를 이용하여 고시간분해능으로 플라즈마 진단방법

166

2013.02

국내

제 44회 한국진공학회

평창

황혜주

유도 결합 산소 플라즈마에서 고조화파 분석법을 이용한 음이온 공간 분포 측정

165

2013.02

국내

제 44회 한국진공학회

평창

김영철

플라즈마에서 볼츠만 관계식의 실험적 검증

164

2013.02

국내

제 44회 한국진공학회

평창

오승주

극판 전극이 인가된 유도 결합 플라즈마에서 유도 결합 전기장과 용량성 결합 전기장에 관한 전자 가열 연구

163

2013.02

국내

제 44회 한국진공학회

평창

이재원

SMP(Symmetric Multi-Power) 안테나에 의한 플라즈마 밀도 분포 개선에 대한 연구

162

2013.02

국내

제 44회 한국진공학회

평창

김영도

유도결합 플라즈마에서 임피던스 정합조건을 이용한 비침투식 진단방법

161

2013.02

국내

2013 KSTAR Conference

충남부여

박일서

Investigation on the far-SOL particle transport after ELM crash using probe diagnostics

160

2012.1

국외

65th Gaseous Electronics Conference

U.S.A

황혜주

Spatial distributions measurement of negative ion density by using floating probe in the oxygen inductive coupled plasmas

159

2012.1

국외

65th Gaseous Electronics Conference

U.S.A

강현주

Transmission characteristics of the wave cut-off probe with parallel plates

158

2012.1

국외

65th Gaseous Electronics Conference

U.S.A

이희진

Control of plasma density profile via wireless power transfer in an inductively coupled discharge

157

2012.1

국외

65th Gaseous Electronics Conference

U.S.A

한덕선

Experimental measurement of plasma parameters and electron energy distribution in ferrite-core side type Ar/He inductively coupled plasma

156

2012.1

국외

65th Gaseous Electronics Conference

U.S.A

이효창

Spatial plasma potentials and electron energy distributions in inductively and capacitively coupled plasmas under a weakly collisional and nonlocal electron kinetic regime

155

2012.08

국내

The 2nd International Symposium on Plasma Biosciences

광운대

김영철

GAS TEMPERATURE MEASUREMENT USING OPTICAL EMISSION SPECTROSCOPY FOR ATMOSPHERIC PLASMA DIAGNOSTICS

154

2012.08

국내

The 2nd International Symposium on Plasma Biosciences

광운대

김영철

ELECTRON TEMPERATURE MEASUREMENT IN ATMOSPHERE PLASMA USING FLOATING HARMONIC DIAGNOSTIC METHOD

153

2012.07

국외

International Conference on Plasma Science

에딘버러

김유신

Plasma diagnostics with high-time resolution based on floating harmonic method in pulsed plasma

152

2012.07

국외

International Conference on Plasma Science

에딘버러

김동환

Probe diagnostics in the edge of KSTAR tokamak plasma using fast floating harmonic method

151

2012.07

국내

"4th ICMAP(The 4th International Conference on Microelectronics and Plasma Technology)"

제주도

김동환

A study on the scale up of plasma processing chamber by using global model

150

2012.07

국내

"4th ICMAP(The 4th International Conference on Microelectronics and Plasma Technology)"

제주도

김영도

A study on the correlations between external discharge parameters and plasma characteristics in an inductively coupled plasma using transformer circuit model

149

2012.07

국내

"4th ICMAP(The 4th International Conference on Microelectronics and Plasma Technology)"

제주도

황혜주

A new method for measuring transferred power to plasma in inductive discharge

148

2012.07

국내

"4th ICMAP(The 4th International Conference on Microelectronics and Plasma Technology)"

제주도

김영도

Spatial characteristics of plasma parameters in a weak dc magnetic field in solenoidal inductive discharge

147

2012.07

국내

"4th ICMAP(The 4th International Conference on Microelectronics and Plasma Technology)"

제주도

이재원

Characteristics of electron cyclotron resonance in magnetized solenoid type inductively coupled plasmas

146

2012.07

국내

"4th ICMAP(The 4th International Conference on Microelectronics and Plasma Technology)"

제주도

이효창

Collisionless electron heating and control of electron energy distribution by adding pulsed inductive fields in capacitively coupled plasma

145

2012.07

국내

"4th ICMAP(The 4th International Conference on Microelectronics and Plasma Technology)"

제주도

이수진

Mode transition of power dissipation in and plasma parameters in an asymmetric capacitive discharge

144

2012.07

국내

"4th ICMAP(The 4th International Conference on Microelectronics and Plasma Technology)"

제주도

오세진

Interpolation for two-dimensional spatial distribution estimation of plasma densities in a cylindrical RF discharge reactor

143

2012.07

국내

"4th ICMAP(The 4th International Conference on Microelectronics and Plasma Technology)"

제주도

조성원

Effect of plasma density distribution for polymer surface etching at low frequency (50 kHz) O2+CF4 capacitive discharge

142

2012.07

국내

"4th ICMAP(The 4th International Conference on Microelectronics and Plasma Technology)"

제주도

조성원

The Digital Matching System with Transformer type for 400 kHz Ferrite inductively Coupled Plasma

141

2012.05

국외

IWPT 2012 (Innovative Wireless Power Transmission: Technologies, Systems, and Applications)

교토

이희진

Electromagnetically Coupled Resonators Using Toroidal Ferrite Core for Wireless Power Transfer

140

2012.02

국내

KSTAR Conference

무주

김동환

Plasma diagnostic in the SOL region of KSTAR using floating harmonic method

139

2012.02

국내

제 42회 한국진공학회

평창

박일서

이중주파수 부유형 탐침법을 이용한 플라즈마 진단 연구

138

2012.02

국내

제 42회 한국진공학회

평창

김현준

전력 공급 방식에 따른 유도 결합 플라즈마 특성 변화 연구

137

2012.02

국내

제 42회 한국진공학회

평창

오승주

준안정 준위를 포함한 헬륨 플라즈마의 영차원 모사 연구

136

2012.02

국내

제 42회 한국진공학회

평창

황혜주

유도 결합 플라즈마에서 시스템의 소비 전력 측정 방법에 대한 연구

135

2012.02

국내

제 42회 한국진공학회

평창

김동환

0차원 모델을 이용한 공정장비 Scale Up 연구

134

2012.02

국내

제 42회 한국진공학회

평창

한덕선

Uniformity Control by Using Helium Gas in the Large Area Ferrite Side Type inductively Coupled Plasma

133

2012.02

국내

제 42회 한국진공학회

평창

이재원

자기장을 인가한 솔레노이드형 유도 결합 플라즈마 장치에서의 전자 싸이클로트론 공명 플라즈마 특성

132

2012.02

국내

제 42회 한국진공학회

평창

강현주

고주파수 축전 결합 플라즈마에서 플라즈마 변수들이 전기장 분포에 미치는 영향에 대한 연구

131

2012.02

국내

제 42회 한국진공학회

평창

이효창

유도결합플라즈마에서 플라즈마 변수와 전자 에너지 분포에 대한 RF bias의 영향

130

2011.11

국외

64th Gaseous Electronics Conference

Salt Lake city, USA

이효창

Role of additional inductive power on the electron energy distribution in Ar/O2 capacitively coupled plasma

129

2011.11

국외

64th Gaseous Electronics Conference

Salt Lake city, USA

강현주

The effect of collision frequency on the electric field distribution in a high frequency capacitive discharge

128

2011.11

국외

64th Gaseous Electronics Conference

Salt Lake city, USA

김현준

Experimental observation of balanced power effect of antenna on plasma parameters in inductively coupled plasma

127

2011.11

국외

64th Gaseous Electronics Conference

Salt Lake city, USA

이재원

Measurement of power transfer efficiency and ion density in various radio-frequency inductively couipled plasma

126

2011.11

국외

64th Gaseous Electronics Conference

Salt Lake city, USA

오승주

A study on plasma parameters in various mixed Ar/SF6 inductively coupled plasma

125

2011.11

국외

64th Gaseous Electronics Conference

Salt Lake city, USA

김영도

A simple analysis of inductively coupled discharge using transformer circuit model

124

2011.11

국외

64th Gaseous Electronics Conference

Salt Lake city, USA

김진용

Measurement of electron energy distribution in magnetized solenoidal inductively coupled plasma

123

2011.11

국외

64th Gaseous Electronics Conference

Salt Lake city, USA

이수진

Electrical characteristics and mode transition of power dissipation in an asymmetric capacitively coupled plasma

122

2011.11

국외

64th Gaseous Electronics Conference

Salt Lake city, USA

이영광

Experimental investigation of argon metastable density and electron temperature in low-pressure plasma by line ratio OES technique

121

2011.11

국외

64th Gaseous Electronics Conference

Salt Lake city, USA

오세진

Double probe using an ac bias signal for plasma parameters measurement

120

2011.11

국외

64th Gaseous Electronics Conference

Salt Lake city, USA

유경

A study on floating method in non-Maxwellian plasmas

119

2011.11

국외

64th Gaseous Electronics Conference

Salt Lake city, USA

김영철

Measurement of the plasma density and electron temperature uniformities in inductively coupled plasmas using 2D real time measurement method

118

2011.08

국내

제41회 한국진공학회 동계정기학술대회

대구 EXCO

이영광

광방사 세기비를 이용한 공정 플라즈마의 변수 진단

117

2011.08

국내

제41회 한국진공학회 동계정기학술대회

대구 EXCO

강현주

충돌주파수가 고주파 수평행평판 플라즈마의 전기장 균일도에 미치는 영향 연구

116

2011.07

국외

The 3rd International Conference on Microelectronics and Plasma Technology

Dalina, China

오세진

Real-time Dose Monitoring System by Sensing Implanter Current and Biased Pulse Voltage in Plasma Source Ion Implantation

115

2011.07

국외

The 3rd International Conference on Microelectronics and Plasma Technology

Dalina, China

이효창

Studies on the spatial and Temporal Behaviors of the Electron Energy Distribution and Plasma Parameters in inductively and/or capacitively coupled plasma

114

2011.07

국외

The 3rd International Conference on Microelectronics and Plasma Technology

Dalina, China

오승주

Numerical Calculation of Spatial Electric Field by RF Bias in High Density Plasmas

113

2011.07

국외

The 3rd International Conference on Microelectronics and Plasma Technology

Dalina, China

김영철

Study on plasma uniformity by using 2D real time measurement method in Ar/He inductively coupled plasmas

112

2011.07

국외

The 3rd International Conference on Microelectronics and Plasma Technology

Dalina, China

김영도

Spatial evolutions of the electron energy distributions in a weakly magnetized solenoidal-type inductively coupled plasma

111

2011.02

국내

국가핵융합연구소(NFRI)

무주, 한국

방진영

Real-time observation of capacitance of surface material during plasma operation

110

2011.02

국내

한국진공학회 제40회 동계 정기학술대회

평창, 한국

정진욱

공정 플라즈마 진단을 위한 고조화파 분석법 및 진단 결과

109

2011.02

국내

한국진공학회 제40회 동계 정기학술대회

평창, 한국

방진영

플라즈마로부터의 이온포격에 의한 표면물질의 유전체 특성 변화 관찰

108

2011.02

국내

한국진공학회 제40회 동계 정기학술대회

평창, 한국

오세진

반도체 플라즈마 이온 주입공정에서 직류 펄스 전압, 전류 감지를 통한 실시간 도즈 모니터링 시스템 개발

107

2011.02

국내

한국진공학회 제40회 동계 정기학술대회

평창, 한국

김현준

유도 결합 플라즈마에서 밸런스 파워에 의한 전자밀도의 증가 효과

106

2011.02

국내

한국진공학회 제40회 동계 정기학술대회

평창, 한국

이수진

비대칭 전극 구조를 갖는 용량성 결합 플라즈마에서의 방전 특성과 전력 소비 모드 전이에 관한 연구

105

2011.02

국내

한국진공학회 제40회 동계 정기학술대회

평창, 한국

이재원

다양한 공정 주파수에서 유도 결합 플라즈마의 플라즈마 밀도와 에너지 전달 효율 측정

104

2011.02

국내

한국진공학회 제40회 동계 정기학술대회

평창, 한국

최익진

축전기의 과도 현상을 이용한 부유형 단일탐침 플라즈마 진단법 연구

103

2011.02

국내

한국진공학회 제40회 동계 정기학술대회

평창, 한국

이영광

The influence of radiation trapping on the metastable population density and applications to low-pressure plasma

102

2011.02

국내

한국진공학회 제40회 동계 정기학술대회

평창, 한국

유경

표면 분석법을 이용한 플라즈마에서의 보론박막 두께 측정

101

2010.1

국외

63rd Gaseous Electronics Conference & 7th International Conference on Reactive Plasmas

Paris, France

이정규

Measurement of the electron energy distribution function and E-H mode transition in inductively coupled plasma with various gases

100

2010.1

국외

63rd Gaseous Electronics Conference & 7th International Conference on Reactive Plasmas

Paris, France

김유신

In situ feedback control of ion flux by using a floating harmonic method in processing plasmas

99

2010.1

국외

63rd Gaseous Electronics Conference & 7th International Conference on Reactive Plasmas

Paris, France

김진용

Developement of an embedded two-dimensional probe for diagnostic of the spatial uniformity in plasmas

98

2010.1

국외

63rd Gaseous Electronics Conference & 7th International Conference on Reactive Plasmas

Paris, France

오세진

RF-compensation method using Langmuir probe with auxiliary double probes

97

2010.1

국외

63rd Gaseous Electronics Conference & 7th International Conference on Reactive Plasmas

Paris, France

오승주

Experimental measurement of the plasma parameters in Ar/SF6 inductively coupled plasma

96

2010.1

국외

63rd Gaseous Electronics Conference & 7th International Conference on Reactive Plasmas

Paris, France

이영호

Investigation of the negative ion temperature and ion flux in low-pressure SF6 plasma using the AC-superposition method

95

2010.1

국외

63rd Gaseous Electronics Conference & 7th International Conference on Reactive Plasmas

Paris, France

김영도

Analysis of current harmonics and application on the floating harmonics method with multiple voltane waveforms in a plasma

94

2010.1

국외

63rd Gaseous Electronics Conference & 7th International Conference on Reactive Plasmas

Paris, France

김영철

Experimental result of two dimensional spatial distribution of plasma parameters in CVD processing plasma

93

2010.1

국외

63rd Gaseous Electronics Conference & 7th International Conference on Reactive Plasmas

Paris, France

이효창

Effect of flow rate on the plasma parameters and electron energy distribution in plasma pocess reactor

92

2010.1

국외

63rd Gaseous Electronics Conference & 7th International Conference on Reactive Plasmas

Paris, France

이효창

E-H heating mode transition in high-pressure helium inductively coupled plasma

91

2010.1

국외

63rd Gaseous Electronics Conference & 7th International Conference on Reactive Plasmas

Paris, France

이효창

Strong modification of the electron energy distribution function in inductive discharge in SF6/Ar plasmas due to additional capacitive bias with small power input

90

2010.1

국외

63rd Gaseous Electronics Conference & 7th International Conference on Reactive Plasmas

Paris, France

이영광

Measurement of metastable fractions and effect of stepwise ionizations in inductively coupled argon plasmas by optical emission spectroscopy

89

2010.1

국외

63rd Gaseous Electronics Conference & 7th International Conference on Reactive Plasmas

Paris, France

방진영

Synergistic effect of dual power on plasma density by shift of power absorption region in inductively coupled plasma

88

2010.08

국외

10th IEEE international Conference on Nanotechnology joint symposium with nano Korea 2010

Ilsan, Korea

이효창

Inductively couples RF heating of nano-particle for non-invasive and selective cancer cell destruction

87

2010.07

국외

The 10th Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology and the 23rd Symposium on Plasma Science for Materials

Jeju, Korea

오세진

A two-dimensional interpolation algorithm for spatial density profile evaluation in RF plasmas

86

2010.07

국외

The 10th Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology and the 23rd Symposium on Plasma Science for Materials

Jeju, Korea

이효창

Plasma non-uniformity by RF bias power in inductively coupled plasma

85

2010.07

국외

The 10th Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology and the 23rd Symposium on Plasma Science for Materials

Jeju, Korea

이효창

Effects fo flow rate on the plasma parameters in plasma process reactor

84

2010.07

국외

The 10th Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology and the 23rd Symposium on Plasma Science for Materials

Jeju, Korea

이영광

Metastable number density and stepwise ionization in a low-pressure inductively coupled argon plasma

83

2010.07

국외

The 10th Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology and the 23rd Symposium on Plasma Science for Materials

Jeju, Korea

방진영

A self-consistent model of collisionless oscillating sheaths for ion energy simulation in various types of dual frequency capacitively coupled plasma

82

2010.07

국외

The 10th Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology and the 23rd Symposium on Plasma Science for Materials

Jeju, Korea

정진욱

New plasma diagnostic method using the harmonic analysis method and its application in processing plasmas

81

2009.1

국외

62th Gaseous Electronics Conference

NY, U.S.A

이효창

Effects of RF-bias power on plasma parameters in a low gas pressure inductively coupled plasma

80

2009.1

국외

62th Gaseous Electronics Conference

NY, U.S.A

방진영

Additional Planar Antenna Effect on the Ferromagnetic Core Incudtively Coupled Plasma.

79

2009.1

국외

62th Gaseous Electronics Conference

NY, U.S.A

이영광

Investigation of electron energy distribution function in a weak magnetic field in solenoidal inductive discharge

78

2009.1

국외

62th Gaseous Electronics Conference

NY, U.S.A

이효창

Experimental observation of the transition from nonlocal to local kineticsin inductively coupled plasma

77

2009.1

국외

62th Gaseous Electronics Conference

NY, U.S.A

구주환

Measurement of total energy losses per electron-ion lost in various mixed gas inductively coupled plasmas

76

2009.1

국외

62th Gaseous Electronics Conference

NY, U.S.A

김아람

Floating Harmonics Method  for non-Maxwellian plasmas

75

2009.1

국외

62th Gaseous Electronics Conference

NY, U.S.A

김영철

Real time two-dimensional spatial distribution measurement method of electron temperature and plasma density

74

2009.1

국외

62th Gaseous Electronics Conference

NY, U.S.A

한형식

Measurement of Sheath Thickness using a Cylindrical Probe at a Floating Potential

73

2009.1

국외

62th Gaseous Electronics Conference

NY, U.S.A

김유신

Electron temperature measurement  by using an optical emission spectroscopy  in inductive Ar/O2 mixture discharge

72

2009.1

국외

2nd International Conference on Microelectronics and Technology

Busan, Korea

장성호

Langmuir probe perturbation  in inductively coupled plasmas

71

2009.1

국외

2nd International Conference on Microelectronics and Technology

Busan, Korea

이효창

Low energy electron heating and evolution of the electron energy distribution by diluted O2 in a planar inductive Ar/O2 mixture discharge

70

2009.1

국외

2nd International Conference on Microelectronics and Technology

Busan, Korea

구주환

Measurement of total energy losses per electron-ion lost in various mixed gas inductively coupled plasmas

69

2009.1

국외

2nd International Conference on Microelectronics and Technology

Busan, Korea

김아람

Floating Harmonics Method for Non-Maxwellian plasmas

68

2009.1

국외

2nd International Conference on Microelectronics and Technology

Busan, Korea

한형식

Measurement of Sheath Thickness using a Cylindrical Probe at a Floating Potential

67

2009.1

국외

2nd International Conference on Microelectronics and Technology

Busan, Korea

김유신

Spectroscopic measurement of the electron temperature by using a simple collisional-radiative model in inductive Ar/O2 mixture discharge

66

2008.1

국외

AVS 55th international symposium & exhibitation

Bosgton, U.S.A.

장성호

Real time feedback control of  plasma  density by using a floating probe  in inductively coupled plasmas

65

2008.1

국외

61th Gaseous Electronics Conference

Dallas, U.S.A.

김건호

Experimetal investigation on Edge-to-Center density ratio in an inductively coupled plasma

64

2008.1

국외

61th Gaseous Electronics Conference

Dallas, U.S.A.

황광태

Real-time measurement of electron temperatures and ion densities using self-bias effect in argon inductively coupled plasma

63

2008.1

국외

61th Gaseous Electronics Conference

Dallas, U.S.A.

이효창

Electron series resonance in an inductive ion etching reactor

62

2008.1

국외

61th Gaseous Electronics Conference

Dallas, U.S.A.

이효창

New method to measure the electron temperature in Ar/He mixture capacitive discharge

61

2008.1

국외

61th Gaseous Electronics Conference

Dallas, U.S.A.

방진영

Experimental investigation on the Boltzmann relation for a bi-Maxwellian plasma

60

2008.1

국외

61th Gaseous Electronics Conference

Dallas, U.S.A.

이영광

Experimental Measurement of the total energy losses in a low pressure inductively coupled argon plasma

59

2008.1

국외

61th Gaseous Electronics Conference

Dallas, U.S.A.

최익진

Simple Analysis method of I-V Curve

58

2008.1

국외

61th Gaseous Electronics Conference

Dallas, U.S.A.

장성호

Real time feedback control of  plasma  density by using a floating probe in inductively coupled plasmas

57

2008.8

국외

1st International conference on microelectronics and plasma technology

제주, 한국

장성호

Langmuir probe perturbation in inductively coupled plasmas

56

2008.8

국내

한국진공학회 제35회 하계 정기학술대회

제주, 한국

황광태

자기 바이어스 현상을 이용한 전자온도 및 이온밀도 측정연구

55

2008.6

국내

제 2회 반도체 공정 진단 워크샵

대전, 한국

이효창

축전 결합 플라즈마에서 전자온도를 측정하는 새로운 방법

54

2008.2

국내

한국진공학회 제34회 동계 정기학술대회

용인, 한국

정진욱

실시간 플라즈마 진단 기술

53

2008.1

국외

SEMI Technology Symposium 2008

Seoul, KOREA

정진욱

New Plasma Processing Monitoring Technology

52

2007.11

국외

PAM User Conference in Korea HnaPAM 2007

Seoul, KOREA

장성호

The study of the plasma characteristics According to Antennas position in inductively coupled plasma

51

2007.11

국내

대한전기학회 전력기술부문회 정기 총회 및 추계학술대회

횡성, 한국

김진성

유도결합 플라즈마에서 두 안테나의 구조에 따른 특성 연구

50

2007.1

국외

60th Gaseous Electronics Conference

Arlington, U.S.A.

이영광

Measurement of electron temerature and argon metastable density by measuring optical emission in the inductively coupled plasma

49

2007.1

국외

60th Gaseous Electronics Conference

Arlington, U.S.A.

장성호

Langmuir probe perturbation in plasma distribution measurement in an inductively coupled plasma

48

2007.1

국외

60th Gaseous Electronics Conference

Arlington, U.S.A.

남형호

Development of a novel Inductive coupled plasma source

47

2007.1

국외

60th Gaseous Electronics Conference

Arlington, U.S.A.

방진영

The effect of a planar antenna on a ferromagnetic core ICP

46

2007.8

국내

한국진공학회 제33회 정기학술대회

제주, 한국

윤인창

비침투식 이온 선속 측정

45

2007.6

국외

International Conference On Plasma Science 2007

Albuquerque, U.S.A.

이민형

E to H transition mechanisms in inductively coupled plasma

44

2007.6

국외

International Conference On Plasma Science 2007

Albuquerque, U.S.A.

조성원

The digital matching network for a ferromagnetic ICP driven at 400 Khz

43

2007.6

국내

한국 반도체 및 디스플레이 장비 학회 2007 춘계 학술대회

서울, 한국

남형호

고효율 회전대칭성 향상을 위한 유도결합 플라즈마 안테나

42

2007.6

국내

한국 반도체 및 디스플레이 장비 학회 2007 춘계 학술대회

서울, 한국

조성원

400kHz 페라이트 유도결합 플라즈마를 위한 임피던스 매칭 네트워크

41

2007.6

국내

한국 반도체 및 디스플레이 장비 학회 2007 춘계 학술대회

서울, 한국

방진영

보조 안테나를 이용한 측면형 페라이트 ICP의 플라즈마 변수 제어

40

2007.6

국내

한국 반도체 및 디스플레이 장비 학회 2007 춘계 학술대회

서울, 한국

이영광

아르곤 4p 준위 광방출법을 이용한 플라즈마의 전자온도 및 준안정 밀도 측정

39

2007.6

국내

한국 반도체 및 디스플레이 장비 학회 2007 춘계 학술대회

서울, 한국

이효창

Experiment and characteristics for size of a planar rf-antenna in ICP(inductively coupled plasma)

38

2006.1

국외

59th Gaseous Electronics Conference

Columbus, U.S.A.

이경효

Electrical and plasma parameters of side type ferromagnetic ICP

37

2006.1

국외

59th Gaseous Electronics Conference

Columbus, U.S.A.

이민형

On the multistep ionizations in argon inductively coupled plamas

36

2006.1

국외

59th Gaseous Electronics Conference

Columbus, U.S.A.

이민형

On the E to H and H to E transition mechanisms in inductively coupled plasmas

35

2006.1

국외

59th Gaseous Electronics Conference

Columbus, U.S.A.

최익진

Measurement of ion density and electron temperature in Hanbit magnetic mirror device by using RF compensation triple probe

34

2006.7

국외

8th Asia-Pacific Conference on Plasma Science and Technology

Queensland, AUSTRALIA

이경효

Electrical and plasma parameters of ferromagnetic ICP as an alternative plasma processing tool

33

2006.7

국외

8th Asia-Pacific Conference on Plasma Science and Technology

Queensland, AUSTRALIA

장성호

The study of the multi-step ionizations in an argon inductively coupled plasma

32

2006.6

국내

대한전기학회 제 37회 하계학술대회

서울, 한국

최익진

RF보상 삼중탐침을 이용한 한빛자기거울플라즈마의 진단과 특성연구

31

2006.6

국외

International Conference On Plasma Science 2006

Traverse, U.S.A.

이민형

New probe method applicable to plasma processing

30

2006.5

국외

11th Light Sources Workshop 2006

Shanghai, CHINA

최익진

Investigation of Shielding Effects of Double Half Turn Antenna and deveopment of plasma diagnostic system applicable for light source

29

2006.4

국내

한국물리학회 2006년 봄 학술논문발표회 및 제82회 정기총회

평창, 한국

최익진

부유형 단일탐침을 이용한 플라즈마 진단법

28

2006.4

국내

한국물리학회 2006년 봄 학술논문발표회 및 제82회 정기총회

평창, 한국

최익진

RFTC의 DHT 안테나의 코팅에 따른 방전특성 측정

27

2005.1

국외

58th Gases Electronics Conference

San Jose, U.S.A.

오세진

Measurements of the Sheath Capacitance using a Tunnel Diode Oscillator in Inductively Coupled Plasmas

26

2005.1

국외

58th Gases Electronics Conference

San Jose, U.S.A.

오세진

Noninvasive Measurement of Ion Energy Distributions in a Plasma Etching System

25

2005.1

국외

58th Gases Electronics Conference

San Jose, U.S.A.

최익진

Absolute electron density measurement using the cut-off method in magnetized plasmas

24

2005.1

국외

58th Gases Electronics Conference

San Jose, U.S.A.

장성호

On the floating type Langmuir probe using the harmonic technique in inductively coupled plasmas

23

2005.1

국외

58th Gases Electronics Conference

San Jose, U.S.A.

이원기

Electrical and Plasma Parameters of Distributed ICP Driven by Ferromagnetic Core Array

22

2005.8

국내

한국진공학회 제 29회 학술발표회

대전, 한국

최익진

부유형 단일탐침을 이용한 플라즈마 진단법

21

2005.8

국내

한국진공학회 제 29회 학술발표회

대전, 한국

장성호

하모닉테크닉을 이용하는 플로팅형 랭뮤어 탐침 측정에 관한 연구

20

2005.7

국내

대한전기학회 2005년도 제 36회 하계학술대회

평창, 한국

최익진

RF 보상 삼중탐침을 통한 RF 플라즈마 진단

19

2005.7

국내

대한전기학회 2005년도 제 36회 하계학술대회

평창, 한국

장성호

전자 에너지 분포 함수 측정을 위한 I V 특성 곡선의 확률 밀도함수를 이용한 smoothing method

18

2005.6

국외

International Conference On Plasma Science 2005

Monterey, U.S.A.

이원기

Characterization of inductively coupled plasma driven with ferrite cores at 400kHz

17

2005.6

국외

International Conference On Plasma Science 2005

Monterey, U.S.A.

김원기

Comparison of plasma density measurements using electrical probes and microwave probes in inductively coupled plasma

16

2005.5

국내

대한전기학회 2005 춘계 고전압 및 방전 응용기술연구회

서울, 한국

박남석

Double Half Turn 안테나에 의해 발생된 플라즈마 특성연구

15

2005.4

국내

한국물리학회 제81회 정기총회 및 연구논문발표회

서울, 한국

장성호

EEDF 측정을 위한 확률 밀도 함수 smoothing 방법

14

2005.4

국내

한국물리학회 제81회 정기총회 및 연구논문발표회

서울, 한국

김원기

아르곤 유도결합 플라즈마에서 정전 탐침과 마이크로파 탐침을 이용한 플라즈마 밀도 측정 비교 연구

13

2005.4

국내

한국물리학회 제81회 정기총회 및 연구논문발표회

서울, 한국

오세진

유도 결합 플라즈마에서 비 침투적 간접적인 이온 에너지 분포 측정

12

2005.4

국내

한국물리학회 제81회 정기총회 및 연구논문발표회

서울, 한국

장성호

유도 결합 플라즈마에서의 Pumping 포트 위치와 잔류시간 (residence time) 효과 고찰

11

2004.9

국외

57th Gases Electronics Conference

Clare, IRELAND

이원기

Experimental Investigation on the difference between the plasma potential and the floating potential of the cylindrical probe in an inductively coupled plasmas

10

2004.6

국외

7th Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology

Fukuoka, JAPAN

이원기

Experimental Investigation on the floating potential of cylindrical probe

9

2004.1

국내

한국물리학회 2004년도 임시총회 및 연구논문 발표회

제주, 한국

이원기

라디칼 소스용 ferrite ICP의 전기적 특성 연구

8

2004.1

국내

한국물리학회 2004년도 임시총회 및 연구논문 발표회

제주, 한국

김원기

플라즈마 밀도가 오염입자 성장에 미치는 영향 연구

7

2004.1

국내

한국물리학회 2004년도 임시총회 및 연구논문 발표회

제주, 한국

정진욱

량뮤터 탐침 진단과 최근 연구 결과

6

2003

국외

International Conference On Plasma Science 2003

JeJu, KOREA

정진욱

On Electron Heating Mechanism in Low Pressure High Density Inductively Coupled Plasma

5

2002

국외

International Conference On Plasma Science 2002

CANADA

정진욱

Heating mode transition in E mode of ICP and evolution of the EEDF during the E-H Transition

4

2001

국외

54th Gases Electronics Conference

U.S.A.

정진욱

Effect of pressure and gas species on Electron Cyclotron Resonance in a weakly magnetized Inductively Coupled Plasma

3

2000

국외

53th Gases Electronics Conference

U.S.A.

정진욱

The electron cyclotron resonance in RF inductive discharge

2

2000

국외

17th Symposium on Plasama Processing

JAPAN

정진욱

Nonlocal electron kinetics in a planar inductive discharge

1

1999

국외

52th Gases Electronics Conference

U.S.A.

정진욱

The effect of electron bounce resonance on EEDF in a solenoidal ICP