→ Last Updated: Wednesday, 29 June 2011, 22:00 GMT
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No. |
Date |
분류 |
학술회의명 (Conference) |
장소 |
발표자 |
발표주제(Title) |
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195 |
2013.11 |
국외 |
International Conference on Surface Engineering 2013 |
부산 |
조성원 |
Thermo-Compression Flipchip Interconnection using Plasma Enhanced Copper Organic Solderability Preservative Etched Substrate |
|
194 |
2013.11 |
국외 |
International Conference on Surface Engineering 2013 |
부산 |
김동환 |
A comparative study on the floating harmonic method using dual frequency in an inductive discharge |
|
193 |
2013.11 |
국외 |
9th Asia Plasma and Fusion Association Conference |
경주 |
김동환 |
A plasma diagnostic technique using intermodulation frequencies in a floating Langmuir probe |
|
192 |
2013.11 |
국외 |
9th Asia Plasma and Fusion Association Conference |
경주 |
박일서 |
Time-resolved measurements of far-SOL plasma arameters in H-mode discharges during ELM crash using sideband technique |
|
191 |
2013.09 |
국외 |
66th Gaseous Electronics Conference |
Princeton |
이효창 |
Polymerizable Supramolecular Sensor for Plasma Diagnostics on Wafer Level |
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190 |
2013.09 |
국외 |
66th Gaseous Electronics Conference |
Princeton |
이재원 |
A study of increasing radical density and etch rate using remote plasma generator system |
|
189 |
2013.09 |
국외 |
66th Gaseous Electronics Conference |
Princeton |
강현주 |
Measurement of electron energy distribution functions in a low pressure and low density inductively coupled plasma |
|
188 |
2013.09 |
국외 |
66th Gaseous Electronics Conference |
Princeton |
이효창 |
Evolution of Electron Temperature and Coupling between Electron Temperature and Power Absorption |
|
187 |
2013.09 |
국외 |
66th Gaseous Electronics Conference |
Princeton |
이효창 |
E to H Heating Mode Transition and Hysteresis in Inductively Coupled Plasma |
|
186 |
2013.09 |
국외 |
66th Gaseous Electronics Conference |
Princeton |
이효창 |
Effect of Radio Frequency Bias on the Plasma Density and Electron Heating in Inductive Discharge |
|
185 |
2013.09 |
국외 |
66th Gaseous Electronics Conference |
Princeton |
김유신 |
A new method for measuring pulsed plasma with hightime resolution based on floating harmonic method |
|
184 |
2013.09 |
국외 |
66th Gaseous Electronics Conference |
Princeton |
김영철 |
Non-invasive electrical method for measurement of electron temperature in an atmospheric pressure plasma jet source |
|
183 |
2013.09 |
국외 |
66th Gaseous Electronics Conference |
Princeton |
오승주 |
A study on measurement of the surface charge accumulation using anodic aluminum oxide template |
|
182 |
2013.09 |
국외 |
66th Gaseous Electronics Conference |
Princeton |
김진용 |
Real time monitoring of dielectric-film thickness on the surface of chamber wall for plasma processing |
|
181 |
2013.08 |
국외 |
9th Asian-European International Conference On Plasma Surface Engineering |
제주도 |
김경현 |
E-H transition measurement in cylindrical ICP with external DC magnetic field |
|
180 |
2013.08 |
국외 |
9th Asian-European International Conference On Plasma Surface Engineering |
제주도 |
오승주 |
Correlation between electrical characteristics of RF bias and plasma parameters in biased inductively coupled |
|
179 |
2013.08 |
국외 |
9th Asian-European International Conference On Plasma Surface Engineering |
제주도 |
이효창 |
Photochromic Polymer Sensor for Plasma Diagnostic |
|
178 |
2013.08 |
국외 |
9th Asian-European International Conference On Plasma Surface Engineering |
제주도 |
이효창 |
Effect of Antenna Size on the E to H Heating Mode Transition in Inductively Coupled Plasma |
|
177 |
2013.08 |
국외 |
9th Asian-European International Conference On Plasma Surface Engineering |
제주도 |
이효창 |
Effect of Flow Rate related to Pressure Gradient in Plasma Process Reactor |
|
176 |
2013.08 |
국외 |
9th Asian-European International Conference On Plasma Surface Engineering |
제주도 |
문준현 |
Experimental verification of the characteristic of plasmas on the effect of antenna turns in inductively coupled plasmas |
|
175 |
2013.08 |
국외 |
9th Asian-European International Conference On Plasma Surface Engineering |
제주도 |
조성원 |
Effect of Flow Rate on the Plasma Parameters in a Dual Type Inductively Coupled Plasma |
|
174 |
2013.06 |
국외 |
2013 International Forum on Functional Materials |
제주도 |
김영철 |
Gas temperature measurement in atmospheric pressure plasma sources |
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173 |
2013.06 |
국외 |
IEEE Pulsed power & plasma science PPPS 2013 |
San Francisco |
박일서 |
OBSERVATION OF THE ELM ACTIVITY THE FAR SOL REGION OF KSTAR TOKAMAK PLASMA USING PROBE DIAGNOSTICS |
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172 |
2013.06 |
국외 |
IEEE Pulsed power & plasma science PPPS 2013 |
San Francisco |
김동환 |
ADVANCED ELECTROSTATIC PLASMA DIAGNOSTIC USUNG SIDEBAND FLOATING HARMONIC METHOD |
|
171 |
2013.02 |
국내 |
제 44회 한국진공학회 |
평창 |
강현주 |
저밀도 유도 결합 플라즈마에서 전자 에너지 분포 측정 |
|
170 |
2013.02 |
국내 |
제 44회 한국진공학회 |
평창 |
박일서 |
이중 주파수의 위상변화에 따른 자기바이어스를 이용한 플라즈마 변수 측정 |
|
169 |
2013.02 |
국내 |
제 44회 한국진공학회 |
평창 |
김진용 |
평판형 탐침을 이용한 공정 챔버 벽 증착 막 두께 측정 |
|
168 |
2013.02 |
국내 |
제 44회 한국진공학회 |
평창 |
김동환 |
다양한 부유 고조화파 탐침법의 비교연구 |
|
167 |
2013.02 |
국내 |
제 44회 한국진공학회 |
평창 |
김유신 |
펄스플라즈마에서 부유고조화를 이용하여 고시간분해능으로 플라즈마 진단방법 |
|
166 |
2013.02 |
국내 |
제 44회 한국진공학회 |
평창 |
황혜주 |
유도 결합 산소 플라즈마에서 고조화파 분석법을 이용한 음이온 공간 분포 측정 |
|
165 |
2013.02 |
국내 |
제 44회 한국진공학회 |
평창 |
김영철 |
플라즈마에서 볼츠만 관계식의 실험적 검증 |
|
164 |
2013.02 |
국내 |
제 44회 한국진공학회 |
평창 |
오승주 |
극판 전극이 인가된 유도 결합 플라즈마에서 유도 결합 전기장과 용량성 결합 전기장에 관한 전자 가열 연구 |
|
163 |
2013.02 |
국내 |
제 44회 한국진공학회 |
평창 |
이재원 |
SMP(Symmetric Multi-Power) 안테나에 의한 플라즈마 밀도 분포 개선에 대한 연구 |
|
162 |
2013.02 |
국내 |
제 44회 한국진공학회 |
평창 |
김영도 |
유도결합 플라즈마에서 임피던스 정합조건을 이용한 비침투식 진단방법 |
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161 |
2013.02 |
국내 |
2013 KSTAR Conference |
충남부여 |
박일서 |
Investigation on the far-SOL particle transport after ELM crash using probe diagnostics |
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160 |
2012.1 |
국외 |
65th Gaseous Electronics Conference |
U.S.A |
황혜주 |
Spatial distributions measurement of negative ion density by using floating probe in the oxygen inductive coupled plasmas |
|
159 |
2012.1 |
국외 |
65th Gaseous Electronics Conference |
U.S.A |
강현주 |
Transmission characteristics of the wave cut-off probe with parallel plates |
|
158 |
2012.1 |
국외 |
65th Gaseous Electronics Conference |
U.S.A |
이희진 |
Control of plasma density profile via wireless power transfer in an inductively coupled discharge |
|
157 |
2012.1 |
국외 |
65th Gaseous Electronics Conference |
U.S.A |
한덕선 |
Experimental measurement of plasma parameters and electron energy distribution in ferrite-core side type Ar/He inductively coupled plasma |
|
156 |
2012.1 |
국외 |
65th Gaseous Electronics Conference |
U.S.A |
이효창 |
Spatial plasma potentials and electron energy distributions in inductively and capacitively coupled plasmas under a weakly collisional and nonlocal electron kinetic regime |
|
155 |
2012.08 |
국내 |
The 2nd International Symposium on Plasma Biosciences |
광운대 |
김영철 |
GAS TEMPERATURE MEASUREMENT USING OPTICAL EMISSION SPECTROSCOPY FOR ATMOSPHERIC PLASMA DIAGNOSTICS |
|
154 |
2012.08 |
국내 |
The 2nd International Symposium on Plasma Biosciences |
광운대 |
김영철 |
ELECTRON TEMPERATURE MEASUREMENT IN ATMOSPHERE PLASMA USING FLOATING HARMONIC DIAGNOSTIC METHOD |
|
153 |
2012.07 |
국외 |
International Conference on Plasma Science |
에딘버러 |
김유신 |
Plasma diagnostics with high-time resolution based on floating harmonic method in pulsed plasma |
|
152 |
2012.07 |
국외 |
International Conference on Plasma Science |
에딘버러 |
김동환 |
Probe diagnostics in the edge of KSTAR tokamak plasma using fast floating harmonic method |
|
151 |
2012.07 |
국내 |
"4th ICMAP(The 4th International Conference on Microelectronics and Plasma Technology)" |
제주도 |
김동환 |
A study on the scale up of plasma processing chamber by using global model |
|
150 |
2012.07 |
국내 |
"4th ICMAP(The 4th International Conference on Microelectronics and Plasma Technology)" |
제주도 |
김영도 |
A study on the correlations between external discharge parameters and plasma characteristics in an inductively coupled plasma using transformer circuit model |
|
149 |
2012.07 |
국내 |
"4th ICMAP(The 4th International Conference on Microelectronics and Plasma Technology)" |
제주도 |
황혜주 |
A new method for measuring transferred power to plasma in inductive discharge |
|
148 |
2012.07 |
국내 |
"4th ICMAP(The 4th International Conference on Microelectronics and Plasma Technology)" |
제주도 |
김영도 |
Spatial characteristics of plasma parameters in a weak dc magnetic field in solenoidal inductive discharge |
|
147 |
2012.07 |
국내 |
"4th ICMAP(The 4th International Conference on Microelectronics and Plasma Technology)" |
제주도 |
이재원 |
Characteristics of electron cyclotron resonance in magnetized solenoid type inductively coupled plasmas |
|
146 |
2012.07 |
국내 |
"4th ICMAP(The 4th International Conference on Microelectronics and Plasma Technology)" |
제주도 |
이효창 |
Collisionless electron heating and control of electron energy distribution by adding pulsed inductive fields in capacitively coupled plasma |
|
145 |
2012.07 |
국내 |
"4th ICMAP(The 4th International Conference on Microelectronics and Plasma Technology)" |
제주도 |
이수진 |
Mode transition of power dissipation in and plasma parameters in an asymmetric capacitive discharge |
|
144 |
2012.07 |
국내 |
"4th ICMAP(The 4th International Conference on Microelectronics and Plasma Technology)" |
제주도 |
오세진 |
Interpolation for two-dimensional spatial distribution estimation of plasma densities in a cylindrical RF discharge reactor |
|
143 |
2012.07 |
국내 |
"4th ICMAP(The 4th International Conference on Microelectronics and Plasma Technology)" |
제주도 |
조성원 |
Effect of plasma density distribution for polymer surface etching at low frequency (50 kHz) O2+CF4 capacitive discharge |
|
142 |
2012.07 |
국내 |
"4th ICMAP(The 4th International Conference on Microelectronics and Plasma Technology)" |
제주도 |
조성원 |
The Digital Matching System with Transformer type for 400 kHz Ferrite inductively Coupled Plasma |
|
141 |
2012.05 |
국외 |
IWPT 2012 (Innovative Wireless Power Transmission: Technologies, Systems, and Applications) |
교토 |
이희진 |
Electromagnetically Coupled Resonators Using Toroidal Ferrite Core for Wireless Power Transfer |
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140 |
2012.02 |
국내 |
KSTAR Conference |
무주 |
김동환 |
Plasma diagnostic in the SOL region of KSTAR using floating harmonic method |
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139 |
2012.02 |
국내 |
제 42회 한국진공학회 |
평창 |
박일서 |
이중주파수 부유형 탐침법을 이용한 플라즈마 진단 연구 |
|
138 |
2012.02 |
국내 |
제 42회 한국진공학회 |
평창 |
김현준 |
전력 공급 방식에 따른 유도 결합 플라즈마 특성 변화 연구 |
|
137 |
2012.02 |
국내 |
제 42회 한국진공학회 |
평창 |
오승주 |
준안정 준위를 포함한 헬륨 플라즈마의 영차원 모사 연구 |
|
136 |
2012.02 |
국내 |
제 42회 한국진공학회 |
평창 |
황혜주 |
유도 결합 플라즈마에서 시스템의 소비 전력 측정 방법에 대한 연구 |
|
135 |
2012.02 |
국내 |
제 42회 한국진공학회 |
평창 |
김동환 |
0차원 모델을 이용한 공정장비 Scale Up 연구 |
|
134 |
2012.02 |
국내 |
제 42회 한국진공학회 |
평창 |
한덕선 |
Uniformity Control by Using Helium Gas in the Large Area Ferrite Side Type inductively Coupled Plasma |
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133 |
2012.02 |
국내 |
제 42회 한국진공학회 |
평창 |
이재원 |
자기장을 인가한 솔레노이드형 유도 결합 플라즈마 장치에서의 전자 싸이클로트론 공명 플라즈마 특성 |
|
132 |
2012.02 |
국내 |
제 42회 한국진공학회 |
평창 |
강현주 |
고주파수 축전 결합 플라즈마에서 플라즈마 변수들이 전기장 분포에 미치는 영향에 대한 연구 |
|
131 |
2012.02 |
국내 |
제 42회 한국진공학회 |
평창 |
이효창 |
유도결합플라즈마에서 플라즈마 변수와 전자 에너지 분포에 대한 RF bias의 영향 |
|
130 |
2011.11 |
국외 |
64th Gaseous Electronics Conference |
Salt Lake city, USA |
이효창 |
Role of additional inductive power on the electron energy distribution in Ar/O2 capacitively coupled plasma |
|
129 |
2011.11 |
국외 |
64th Gaseous Electronics Conference |
Salt Lake city, USA |
강현주 |
The effect of collision frequency on the electric field distribution in a high frequency capacitive discharge |
|
128 |
2011.11 |
국외 |
64th Gaseous Electronics Conference |
Salt Lake city, USA |
김현준 |
Experimental observation of balanced power effect of antenna on plasma parameters in inductively coupled plasma |
|
127 |
2011.11 |
국외 |
64th Gaseous Electronics Conference |
Salt Lake city, USA |
이재원 |
Measurement of power transfer efficiency and ion density in various radio-frequency inductively couipled plasma |
|
126 |
2011.11 |
국외 |
64th Gaseous Electronics Conference |
Salt Lake city, USA |
오승주 |
A study on plasma parameters in various mixed Ar/SF6 inductively coupled plasma |
|
125 |
2011.11 |
국외 |
64th Gaseous Electronics Conference |
Salt Lake city, USA |
김영도 |
A simple analysis of inductively coupled discharge using transformer circuit model |
|
124 |
2011.11 |
국외 |
64th Gaseous Electronics Conference |
Salt Lake city, USA |
김진용 |
Measurement of electron energy distribution in magnetized solenoidal inductively coupled plasma |
|
123 |
2011.11 |
국외 |
64th Gaseous Electronics Conference |
Salt Lake city, USA |
이수진 |
Electrical characteristics and mode transition of power dissipation in an asymmetric capacitively coupled plasma |
|
122 |
2011.11 |
국외 |
64th Gaseous Electronics Conference |
Salt Lake city, USA |
이영광 |
Experimental investigation of argon metastable density and electron temperature in low-pressure plasma by line ratio OES technique |
|
121 |
2011.11 |
국외 |
64th Gaseous Electronics Conference |
Salt Lake city, USA |
오세진 |
Double probe using an ac bias signal for plasma parameters measurement |
|
120 |
2011.11 |
국외 |
64th Gaseous Electronics Conference |
Salt Lake city, USA |
유경 |
A study on floating method in non-Maxwellian plasmas |
|
119 |
2011.11 |
국외 |
64th Gaseous Electronics Conference |
Salt Lake city, USA |
김영철 |
Measurement of the plasma density and electron temperature uniformities in inductively coupled plasmas using 2D real time measurement method |
|
118 |
2011.08 |
국내 |
제41회 한국진공학회 동계정기학술대회 |
대구 EXCO |
이영광 |
광방사 세기비를 이용한 공정 플라즈마의 변수 진단 |
|
117 |
2011.08 |
국내 |
제41회 한국진공학회 동계정기학술대회 |
대구 EXCO |
강현주 |
충돌주파수가 고주파 수평행평판 플라즈마의 전기장 균일도에 미치는 영향 연구 |
|
116 |
2011.07 |
국외 |
The 3rd International Conference on Microelectronics and Plasma Technology |
Dalina, China |
오세진 |
Real-time Dose Monitoring System by Sensing Implanter Current and Biased Pulse Voltage in Plasma Source Ion Implantation |
|
115 |
2011.07 |
국외 |
The 3rd International Conference on Microelectronics and Plasma Technology |
Dalina, China |
이효창 |
Studies on the spatial and Temporal Behaviors of the Electron Energy Distribution and Plasma Parameters in inductively and/or capacitively coupled plasma |
|
114 |
2011.07 |
국외 |
The 3rd International Conference on Microelectronics and Plasma Technology |
Dalina, China |
오승주 |
Numerical Calculation of Spatial Electric Field by RF Bias in High Density Plasmas |
|
113 |
2011.07 |
국외 |
The 3rd International Conference on Microelectronics and Plasma Technology |
Dalina, China |
김영철 |
Study on plasma uniformity by using 2D real time measurement method in Ar/He inductively coupled plasmas |
|
112 |
2011.07 |
국외 |
The 3rd International Conference on Microelectronics and Plasma Technology |
Dalina, China |
김영도 |
Spatial evolutions of the electron energy distributions in a weakly magnetized solenoidal-type inductively coupled plasma |
|
111 |
2011.02 |
국내 |
국가핵융합연구소(NFRI) |
무주, 한국 |
방진영 |
Real-time observation of capacitance of surface material during plasma operation |
|
110 |
2011.02 |
국내 |
한국진공학회 제40회 동계 정기학술대회 |
평창, 한국 |
정진욱 |
공정 플라즈마 진단을 위한 고조화파 분석법 및 진단 결과 |
|
109 |
2011.02 |
국내 |
한국진공학회 제40회 동계 정기학술대회 |
평창, 한국 |
방진영 |
플라즈마로부터의 이온포격에 의한 표면물질의 유전체 특성 변화 관찰 |
|
108 |
2011.02 |
국내 |
한국진공학회 제40회 동계 정기학술대회 |
평창, 한국 |
오세진 |
반도체 플라즈마 이온 주입공정에서 직류 펄스 전압, 전류 감지를 통한 실시간 도즈 모니터링 시스템 개발 |
|
107 |
2011.02 |
국내 |
한국진공학회 제40회 동계 정기학술대회 |
평창, 한국 |
김현준 |
유도 결합 플라즈마에서 밸런스 파워에 의한 전자밀도의 증가 효과 |
|
106 |
2011.02 |
국내 |
한국진공학회 제40회 동계 정기학술대회 |
평창, 한국 |
이수진 |
비대칭 전극 구조를 갖는 용량성 결합 플라즈마에서의 방전 특성과 전력 소비 모드 전이에 관한 연구 |
|
105 |
2011.02 |
국내 |
한국진공학회 제40회 동계 정기학술대회 |
평창, 한국 |
이재원 |
다양한 공정 주파수에서 유도 결합 플라즈마의 플라즈마 밀도와 에너지 전달 효율 측정 |
|
104 |
2011.02 |
국내 |
한국진공학회 제40회 동계 정기학술대회 |
평창, 한국 |
최익진 |
축전기의 과도 현상을 이용한 부유형 단일탐침 플라즈마 진단법 연구 |
|
103 |
2011.02 |
국내 |
한국진공학회 제40회 동계 정기학술대회 |
평창, 한국 |
이영광 |
The influence of radiation trapping on the metastable population density and applications to low-pressure plasma |
|
102 |
2011.02 |
국내 |
한국진공학회 제40회 동계 정기학술대회 |
평창, 한국 |
유경 |
표면 분석법을 이용한 플라즈마에서의 보론박막 두께 측정 |
|
101 |
2010.1 |
국외 |
63rd Gaseous Electronics Conference & 7th International Conference on Reactive Plasmas |
Paris, France |
이정규 |
Measurement of the electron energy distribution function and E-H mode transition in inductively coupled plasma with various gases |
|
100 |
2010.1 |
국외 |
63rd Gaseous Electronics Conference & 7th International Conference on Reactive Plasmas |
Paris, France |
김유신 |
In situ feedback control of ion flux by using a floating harmonic method in processing plasmas |
|
99 |
2010.1 |
국외 |
63rd Gaseous Electronics Conference & 7th International Conference on Reactive Plasmas |
Paris, France |
김진용 |
Developement of an embedded two-dimensional probe for diagnostic of the spatial uniformity in plasmas |
|
98 |
2010.1 |
국외 |
63rd Gaseous Electronics Conference & 7th International Conference on Reactive Plasmas |
Paris, France |
오세진 |
RF-compensation method using Langmuir probe with auxiliary double probes |
|
97 |
2010.1 |
국외 |
63rd Gaseous Electronics Conference & 7th International Conference on Reactive Plasmas |
Paris, France |
오승주 |
Experimental measurement of the plasma parameters in Ar/SF6 inductively coupled plasma |
|
96 |
2010.1 |
국외 |
63rd Gaseous Electronics Conference & 7th International Conference on Reactive Plasmas |
Paris, France |
이영호 |
Investigation of the negative ion temperature and ion flux in low-pressure SF6 plasma using the AC-superposition method |
|
95 |
2010.1 |
국외 |
63rd Gaseous Electronics Conference & 7th International Conference on Reactive Plasmas |
Paris, France |
김영도 |
Analysis of current harmonics and application on the floating harmonics method with multiple voltane waveforms in a plasma |
|
94 |
2010.1 |
국외 |
63rd Gaseous Electronics Conference & 7th International Conference on Reactive Plasmas |
Paris, France |
김영철 |
Experimental result of two dimensional spatial distribution of plasma parameters in CVD processing plasma |
|
93 |
2010.1 |
국외 |
63rd Gaseous Electronics Conference & 7th International Conference on Reactive Plasmas |
Paris, France |
이효창 |
Effect of flow rate on the plasma parameters and electron energy distribution in plasma pocess reactor |
|
92 |
2010.1 |
국외 |
63rd Gaseous Electronics Conference & 7th International Conference on Reactive Plasmas |
Paris, France |
이효창 |
E-H heating mode transition in high-pressure helium inductively coupled plasma |
|
91 |
2010.1 |
국외 |
63rd Gaseous Electronics Conference & 7th International Conference on Reactive Plasmas |
Paris, France |
이효창 |
Strong modification of the electron energy distribution function in inductive discharge in SF6/Ar plasmas due to additional capacitive bias with small power input |
|
90 |
2010.1 |
국외 |
63rd Gaseous Electronics Conference & 7th International Conference on Reactive Plasmas |
Paris, France |
이영광 |
Measurement of metastable fractions and effect of stepwise ionizations in inductively coupled argon plasmas by optical emission spectroscopy |
|
89 |
2010.1 |
국외 |
63rd Gaseous Electronics Conference & 7th International Conference on Reactive Plasmas |
Paris, France |
방진영 |
Synergistic effect of dual power on plasma density by shift of power absorption region in inductively coupled plasma |
|
88 |
2010.08 |
국외 |
10th IEEE international Conference on Nanotechnology joint symposium with nano Korea 2010 |
Ilsan, Korea |
이효창 |
Inductively couples RF heating of nano-particle for non-invasive and selective cancer cell destruction |
|
87 |
2010.07 |
국외 |
The 10th Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology and the 23rd Symposium on Plasma Science for Materials |
Jeju, Korea |
오세진 |
A two-dimensional interpolation algorithm for spatial density profile evaluation in RF plasmas |
|
86 |
2010.07 |
국외 |
The 10th Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology and the 23rd Symposium on Plasma Science for Materials |
Jeju, Korea |
이효창 |
Plasma non-uniformity by RF bias power in inductively coupled plasma |
|
85 |
2010.07 |
국외 |
The 10th Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology and the 23rd Symposium on Plasma Science for Materials |
Jeju, Korea |
이효창 |
Effects fo flow rate on the plasma parameters in plasma process reactor |
|
84 |
2010.07 |
국외 |
The 10th Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology and the 23rd Symposium on Plasma Science for Materials |
Jeju, Korea |
이영광 |
Metastable number density and stepwise ionization in a low-pressure inductively coupled argon plasma |
|
83 |
2010.07 |
국외 |
The 10th Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology and the 23rd Symposium on Plasma Science for Materials |
Jeju, Korea |
방진영 |
A self-consistent model of collisionless oscillating sheaths for ion energy simulation in various types of dual frequency capacitively coupled plasma |
|
82 |
2010.07 |
국외 |
The 10th Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology and the 23rd Symposium on Plasma Science for Materials |
Jeju, Korea |
정진욱 |
New plasma diagnostic method using the harmonic analysis method and its application in processing plasmas |
|
81 |
2009.1 |
국외 |
62th Gaseous Electronics Conference |
NY, U.S.A |
이효창 |
Effects of RF-bias power on plasma parameters in a low gas pressure inductively coupled plasma |
|
80 |
2009.1 |
국외 |
62th Gaseous Electronics Conference |
NY, U.S.A |
방진영 |
Additional Planar Antenna Effect on the Ferromagnetic Core Incudtively Coupled Plasma. |
|
79 |
2009.1 |
국외 |
62th Gaseous Electronics Conference |
NY, U.S.A |
이영광 |
Investigation of electron energy distribution function in a weak magnetic field in solenoidal inductive discharge |
|
78 |
2009.1 |
국외 |
62th Gaseous Electronics Conference |
NY, U.S.A |
이효창 |
Experimental observation of the transition from nonlocal to local kineticsin inductively coupled plasma |
|
77 |
2009.1 |
국외 |
62th Gaseous Electronics Conference |
NY, U.S.A |
구주환 |
Measurement of total energy losses per electron-ion lost in various mixed gas inductively coupled plasmas |
|
76 |
2009.1 |
국외 |
62th Gaseous Electronics Conference |
NY, U.S.A |
김아람 |
Floating Harmonics Method for non-Maxwellian plasmas |
|
75 |
2009.1 |
국외 |
62th Gaseous Electronics Conference |
NY, U.S.A |
김영철 |
Real time two-dimensional spatial distribution measurement method of electron temperature and plasma density |
|
74 |
2009.1 |
국외 |
62th Gaseous Electronics Conference |
NY, U.S.A |
한형식 |
Measurement of Sheath Thickness using a Cylindrical Probe at a Floating Potential |
|
73 |
2009.1 |
국외 |
62th Gaseous Electronics Conference |
NY, U.S.A |
김유신 |
Electron temperature measurement by using an optical emission spectroscopy in inductive Ar/O2 mixture discharge |
|
72 |
2009.1 |
국외 |
2nd International Conference on Microelectronics and Technology |
Busan, Korea |
장성호 |
Langmuir probe perturbation in inductively coupled plasmas |
|
71 |
2009.1 |
국외 |
2nd International Conference on Microelectronics and Technology |
Busan, Korea |
이효창 |
Low energy electron heating and evolution of the electron energy distribution by diluted O2 in a planar inductive Ar/O2 mixture discharge |
|
70 |
2009.1 |
국외 |
2nd International Conference on Microelectronics and Technology |
Busan, Korea |
구주환 |
Measurement of total energy losses per electron-ion lost in various mixed gas inductively coupled plasmas |
|
69 |
2009.1 |
국외 |
2nd International Conference on Microelectronics and Technology |
Busan, Korea |
김아람 |
Floating Harmonics Method for Non-Maxwellian plasmas |
|
68 |
2009.1 |
국외 |
2nd International Conference on Microelectronics and Technology |
Busan, Korea |
한형식 |
Measurement of Sheath Thickness using a Cylindrical Probe at a Floating Potential |
|
67 |
2009.1 |
국외 |
2nd International Conference on Microelectronics and Technology |
Busan, Korea |
김유신 |
Spectroscopic measurement of the electron temperature by using a simple collisional-radiative model in inductive Ar/O2 mixture discharge |
|
66 |
2008.1 |
국외 |
AVS 55th international symposium & exhibitation |
Bosgton, U.S.A. |
장성호 |
Real time feedback control of plasma density by using a floating probe in inductively coupled plasmas |
|
65 |
2008.1 |
국외 |
61th Gaseous Electronics Conference |
Dallas, U.S.A. |
김건호 |
Experimetal investigation on Edge-to-Center density ratio in an inductively coupled plasma |
|
64 |
2008.1 |
국외 |
61th Gaseous Electronics Conference |
Dallas, U.S.A. |
황광태 |
Real-time measurement of electron temperatures and ion densities using self-bias effect in argon inductively coupled plasma |
|
63 |
2008.1 |
국외 |
61th Gaseous Electronics Conference |
Dallas, U.S.A. |
이효창 |
Electron series resonance in an inductive ion etching reactor |
|
62 |
2008.1 |
국외 |
61th Gaseous Electronics Conference |
Dallas, U.S.A. |
이효창 |
New method to measure the electron temperature in Ar/He mixture capacitive discharge |
|
61 |
2008.1 |
국외 |
61th Gaseous Electronics Conference |
Dallas, U.S.A. |
방진영 |
Experimental investigation on the Boltzmann relation for a bi-Maxwellian plasma |
|
60 |
2008.1 |
국외 |
61th Gaseous Electronics Conference |
Dallas, U.S.A. |
이영광 |
Experimental Measurement of the total energy losses in a low pressure inductively coupled argon plasma |
|
59 |
2008.1 |
국외 |
61th Gaseous Electronics Conference |
Dallas, U.S.A. |
최익진 |
Simple Analysis method of I-V Curve |
|
58 |
2008.1 |
국외 |
61th Gaseous Electronics Conference |
Dallas, U.S.A. |
장성호 |
Real time feedback control of plasma density by using a floating probe in inductively coupled plasmas |
|
57 |
2008.8 |
국외 |
1st International conference on microelectronics and plasma technology |
제주, 한국 |
장성호 |
Langmuir probe perturbation in inductively coupled plasmas |
|
56 |
2008.8 |
국내 |
한국진공학회 제35회 하계 정기학술대회 |
제주, 한국 |
황광태 |
자기 바이어스 현상을 이용한 전자온도 및 이온밀도 측정연구 |
|
55 |
2008.6 |
국내 |
제 2회 반도체 공정 진단 워크샵 |
대전, 한국 |
이효창 |
축전 결합 플라즈마에서 전자온도를 측정하는 새로운 방법 |
|
54 |
2008.2 |
국내 |
한국진공학회 제34회 동계 정기학술대회 |
용인, 한국 |
정진욱 |
실시간 플라즈마 진단 기술 |
|
53 |
2008.1 |
국외 |
SEMI Technology Symposium 2008 |
Seoul, KOREA |
정진욱 |
New Plasma Processing Monitoring Technology |
|
52 |
2007.11 |
국외 |
PAM User Conference in Korea HnaPAM 2007 |
Seoul, KOREA |
장성호 |
The study of the plasma characteristics According to Antennas position in inductively coupled plasma |
|
51 |
2007.11 |
국내 |
대한전기학회 전력기술부문회 정기 총회 및 추계학술대회 |
횡성, 한국 |
김진성 |
유도결합 플라즈마에서 두 안테나의 구조에 따른 특성 연구 |
|
50 |
2007.1 |
국외 |
60th Gaseous Electronics Conference |
Arlington, U.S.A. |
이영광 |
Measurement of electron temerature and argon metastable density by measuring optical emission in the inductively coupled plasma |
|
49 |
2007.1 |
국외 |
60th Gaseous Electronics Conference |
Arlington, U.S.A. |
장성호 |
Langmuir probe perturbation in plasma distribution measurement in an inductively coupled plasma |
|
48 |
2007.1 |
국외 |
60th Gaseous Electronics Conference |
Arlington, U.S.A. |
남형호 |
Development of a novel Inductive coupled plasma source |
|
47 |
2007.1 |
국외 |
60th Gaseous Electronics Conference |
Arlington, U.S.A. |
방진영 |
The effect of a planar antenna on a ferromagnetic core ICP |
|
46 |
2007.8 |
국내 |
한국진공학회 제33회 정기학술대회 |
제주, 한국 |
윤인창 |
비침투식 이온 선속 측정 |
|
45 |
2007.6 |
국외 |
International Conference On Plasma Science 2007 |
Albuquerque, U.S.A. |
이민형 |
E to H transition mechanisms in inductively coupled plasma |
|
44 |
2007.6 |
국외 |
International Conference On Plasma Science 2007 |
Albuquerque, U.S.A. |
조성원 |
The digital matching network for a ferromagnetic ICP driven at 400 Khz |
|
43 |
2007.6 |
국내 |
한국 반도체 및 디스플레이 장비 학회 2007 춘계 학술대회 |
서울, 한국 |
남형호 |
고효율 회전대칭성 향상을 위한 유도결합 플라즈마 안테나 |
|
42 |
2007.6 |
국내 |
한국 반도체 및 디스플레이 장비 학회 2007 춘계 학술대회 |
서울, 한국 |
조성원 |
400kHz 페라이트 유도결합 플라즈마를 위한 임피던스 매칭 네트워크 |
|
41 |
2007.6 |
국내 |
한국 반도체 및 디스플레이 장비 학회 2007 춘계 학술대회 |
서울, 한국 |
방진영 |
보조 안테나를 이용한 측면형 페라이트 ICP의 플라즈마 변수 제어 |
|
40 |
2007.6 |
국내 |
한국 반도체 및 디스플레이 장비 학회 2007 춘계 학술대회 |
서울, 한국 |
이영광 |
아르곤 4p 준위 광방출법을 이용한 플라즈마의 전자온도 및 준안정 밀도 측정 |
|
39 |
2007.6 |
국내 |
한국 반도체 및 디스플레이 장비 학회 2007 춘계 학술대회 |
서울, 한국 |
이효창 |
Experiment and characteristics for size of a planar rf-antenna in ICP(inductively coupled plasma) |
|
38 |
2006.1 |
국외 |
59th Gaseous Electronics Conference |
Columbus, U.S.A. |
이경효 |
Electrical and plasma parameters of side type ferromagnetic ICP |
|
37 |
2006.1 |
국외 |
59th Gaseous Electronics Conference |
Columbus, U.S.A. |
이민형 |
On the multistep ionizations in argon inductively coupled plamas |
|
36 |
2006.1 |
국외 |
59th Gaseous Electronics Conference |
Columbus, U.S.A. |
이민형 |
On the E to H and H to E transition mechanisms in inductively coupled plasmas |
|
35 |
2006.1 |
국외 |
59th Gaseous Electronics Conference |
Columbus, U.S.A. |
최익진 |
Measurement of ion density and electron temperature in Hanbit magnetic mirror device by using RF compensation triple probe |
|
34 |
2006.7 |
국외 |
8th Asia-Pacific Conference on Plasma Science and Technology |
Queensland, AUSTRALIA |
이경효 |
Electrical and plasma parameters of ferromagnetic ICP as an alternative plasma processing tool |
|
33 |
2006.7 |
국외 |
8th Asia-Pacific Conference on Plasma Science and Technology |
Queensland, AUSTRALIA |
장성호 |
The study of the multi-step ionizations in an argon inductively coupled plasma |
|
32 |
2006.6 |
국내 |
대한전기학회 제 37회 하계학술대회 |
서울, 한국 |
최익진 |
RF보상 삼중탐침을 이용한 한빛자기거울플라즈마의 진단과 특성연구 |
|
31 |
2006.6 |
국외 |
International Conference On Plasma Science 2006 |
Traverse, U.S.A. |
이민형 |
New probe method applicable to plasma processing |
|
30 |
2006.5 |
국외 |
11th Light Sources Workshop 2006 |
Shanghai, CHINA |
최익진 |
Investigation of Shielding Effects of Double Half Turn Antenna and deveopment of plasma diagnostic system applicable for light source |
|
29 |
2006.4 |
국내 |
한국물리학회 2006년 봄 학술논문발표회 및 제82회 정기총회 |
평창, 한국 |
최익진 |
부유형 단일탐침을 이용한 플라즈마 진단법 |
|
28 |
2006.4 |
국내 |
한국물리학회 2006년 봄 학술논문발표회 및 제82회 정기총회 |
평창, 한국 |
최익진 |
RFTC의 DHT 안테나의 코팅에 따른 방전특성 측정 |
|
27 |
2005.1 |
국외 |
58th Gases Electronics Conference |
San Jose, U.S.A. |
오세진 |
Measurements of the Sheath Capacitance using a Tunnel Diode Oscillator in Inductively Coupled Plasmas |
|
26 |
2005.1 |
국외 |
58th Gases Electronics Conference |
San Jose, U.S.A. |
오세진 |
Noninvasive Measurement of Ion Energy Distributions in a Plasma Etching System |
|
25 |
2005.1 |
국외 |
58th Gases Electronics Conference |
San Jose, U.S.A. |
최익진 |
Absolute electron density measurement using the cut-off method in magnetized plasmas |
|
24 |
2005.1 |
국외 |
58th Gases Electronics Conference |
San Jose, U.S.A. |
장성호 |
On the floating type Langmuir probe using the harmonic technique in inductively coupled plasmas |
|
23 |
2005.1 |
국외 |
58th Gases Electronics Conference |
San Jose, U.S.A. |
이원기 |
Electrical and Plasma Parameters of Distributed ICP Driven by Ferromagnetic Core Array |
|
22 |
2005.8 |
국내 |
한국진공학회 제 29회 학술발표회 |
대전, 한국 |
최익진 |
부유형 단일탐침을 이용한 플라즈마 진단법 |
|
21 |
2005.8 |
국내 |
한국진공학회 제 29회 학술발표회 |
대전, 한국 |
장성호 |
하모닉테크닉을 이용하는 플로팅형 랭뮤어 탐침 측정에 관한 연구 |
|
20 |
2005.7 |
국내 |
대한전기학회 2005년도 제 36회 하계학술대회 |
평창, 한국 |
최익진 |
RF 보상 삼중탐침을 통한 RF 플라즈마 진단 |
|
19 |
2005.7 |
국내 |
대한전기학회 2005년도 제 36회 하계학술대회 |
평창, 한국 |
장성호 |
전자 에너지 분포 함수 측정을 위한 I V 특성 곡선의 확률 밀도함수를 이용한 smoothing method |
|
18 |
2005.6 |
국외 |
International Conference On Plasma Science 2005 |
Monterey, U.S.A. |
이원기 |
Characterization of inductively coupled plasma driven with ferrite cores at 400kHz |
|
17 |
2005.6 |
국외 |
International Conference On Plasma Science 2005 |
Monterey, U.S.A. |
김원기 |
Comparison of plasma density measurements using electrical probes and microwave probes in inductively coupled plasma |
|
16 |
2005.5 |
국내 |
대한전기학회 2005 춘계 고전압 및 방전 응용기술연구회 |
서울, 한국 |
박남석 |
Double Half Turn 안테나에 의해 발생된 플라즈마 특성연구 |
|
15 |
2005.4 |
국내 |
한국물리학회 제81회 정기총회 및 연구논문발표회 |
서울, 한국 |
장성호 |
EEDF 측정을 위한 확률 밀도 함수 smoothing 방법 |
|
14 |
2005.4 |
국내 |
한국물리학회 제81회 정기총회 및 연구논문발표회 |
서울, 한국 |
김원기 |
아르곤 유도결합 플라즈마에서 정전 탐침과 마이크로파 탐침을 이용한 플라즈마 밀도 측정 비교 연구 |
|
13 |
2005.4 |
국내 |
한국물리학회 제81회 정기총회 및 연구논문발표회 |
서울, 한국 |
오세진 |
유도 결합 플라즈마에서 비 침투적 간접적인 이온 에너지 분포 측정 |
|
12 |
2005.4 |
국내 |
한국물리학회 제81회 정기총회 및 연구논문발표회 |
서울, 한국 |
장성호 |
유도 결합 플라즈마에서의 Pumping 포트 위치와 잔류시간 (residence time) 효과 고찰 |
|
11 |
2004.9 |
국외 |
57th Gases Electronics Conference |
Clare, IRELAND |
이원기 |
Experimental Investigation on the difference between the plasma potential and the floating potential of the cylindrical probe in an inductively coupled plasmas |
|
10 |
2004.6 |
국외 |
7th Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology |
Fukuoka, JAPAN |
이원기 |
Experimental Investigation on the floating potential of cylindrical probe |
|
9 |
2004.1 |
국내 |
한국물리학회 2004년도 임시총회 및 연구논문 발표회 |
제주, 한국 |
이원기 |
라디칼 소스용 ferrite ICP의 전기적 특성 연구 |
|
8 |
2004.1 |
국내 |
한국물리학회 2004년도 임시총회 및 연구논문 발표회 |
제주, 한국 |
김원기 |
플라즈마 밀도가 오염입자 성장에 미치는 영향 연구 |
|
7 |
2004.1 |
국내 |
한국물리학회 2004년도 임시총회 및 연구논문 발표회 |
제주, 한국 |
정진욱 |
량뮤터 탐침 진단과 최근 연구 결과 |
|
6 |
2003 |
국외 |
International Conference On Plasma Science 2003 |
JeJu, KOREA |
정진욱 |
On Electron Heating Mechanism in Low Pressure High Density Inductively Coupled Plasma |
|
5 |
2002 |
국외 |
International Conference On Plasma Science 2002 |
CANADA |
정진욱 |
Heating mode transition in E mode of ICP and evolution of the EEDF during the E-H Transition |
|
4 |
2001 |
국외 |
54th Gases Electronics Conference |
U.S.A. |
정진욱 |
Effect of pressure and gas species on Electron Cyclotron Resonance in a weakly magnetized Inductively Coupled Plasma |
|
3 |
2000 |
국외 |
53th Gases Electronics Conference |
U.S.A. |
정진욱 |
The electron cyclotron resonance in RF inductive discharge |
|
2 |
2000 |
국외 |
17th Symposium on Plasama Processing |
JAPAN |
정진욱 |
Nonlocal electron kinetics in a planar inductive discharge |
|
1 |
1999 |
국외 |
52th Gases Electronics Conference |
U.S.A. |
정진욱 |
The effect of electron bounce resonance on EEDF in a solenoidal ICP |