315

2021.02

국내

제 59회 한국진공학회 동계정기학술대회

온라인

60 MHz CCP에서의 전류 고조파 성분과 플라즈마 밀도 분포의 관계에 대한 실험적 연구

이준호

314

2021.02

국내

제 59회 한국진공학회 동계정기학술대회

온라인

실시간 플라즈마 측정을 통한 Ashing rate 예측 모델

유경환

313

2021.02

국내

제 59회 한국진공학회 동계정기학술대회

온라인

초고속 플라즈마 전자 온도 측정법 개발을 통한 2MHz유도 결합 플라즈마의 전자 가열 및 동력학적 특성 연구

이무현

312

2021.02

국내

제 59회 한국진공학회 동계정기학술대회

온라인

플라즈마에서 삼중 주파수를 이용한 밀리미터 두께의 유전체 두께 실시간 측정법 개발

최재훈

311

2021.02

국내

제 59회 한국진공학회 동계정기학술대회

온라인

초고속 전자 온도 측정법 개발을 통한 전자 온도의 이방성 연구

이현중

310

2020.10

국외

73rd Gaseous Electronics Conference (2020 GEC)

미국

Numerical distortion removal method of Langmuir probe I-V curve in RF plasma

유경환

309

2020.10

국외

73rd Gaseous Electronics Conference (2020 GEC)

미국

On the high frequency floating harmonic method in inductively coupled plasmas

서범준

308

2020.10

국외

73rd Gaseous Electronics Conference (2020 GEC)

미국

Investigation of the driving frequency dependence in the inductively coupled plasma

김민석

307

2020.10

국외

73rd Gaseous Electronics Conference (2020 GEC)

미국

RF distortion effect by the inductive load on the floating harmonic method

황재구

306

2020.08

국내

제 59회 한국진공학회 하계정기학술대회

제주

The effect of gas flow on the wafer temperature distribution in an inductively coupled plasma

임영민

305

2020.08

국내

제 59회 한국진공학회 하계정기학술대회

제주

Electrical diagnostic method for electron temperature using self-bias considering the influence of ion current

어현동

304

2020.08

국내

제 59회 한국진공학회 하계정기학술대회

제주

Control of electron energy distribution by hybrid plasma source in low gas pressure

김관용

303

2020.08

국내

제 59회 한국진공학회 하계정기학술대회

제주

Experimental investigation on plasma density distribution at a wafer-level in an inductively coupled plasma using multiple passive resonant antennas

홍영훈

302

2020.08

국내

제 59회 한국진공학회 하계정기학술대회

제주

Effects of the terminal capacitor on electron energy distribution function in a remote inductively coupled plasma

장애선

301

2020.08

국내

제 59회 한국진공학회 하계정기학술대회

제주

Electrical characteristics of inductively coulpled plasma sources using magnetic resonace wireless power tranmission system

김주호

300

2020.02

국내

제 58회 동계정기학술대회

평창

공진 안테나를 사용한 유도 결합 플라즈마에서 고효율 플라 즈마 발생 및 플라즈마 동역학 연구

김주호

299

2020.02

국내

제 58회 한국진공학회

평창

RF 플라즈마에서 왜곡된 랑뮤어 탐침 I-V곡선의 수치적 왜곡 제거 방법 연구

유경환

298

2020.02

국내

제 58회 한국진공학회

평창

부유 전위 주변 I-V 곡선의 RF 왜곡에 관한 실험적 검증과 보상 방법

황재구

297

2020.02

국내

제 58회 한국진공학회

평창

높은 시간 분해능을 갖는 부유 고조화 분석법

서범준

296

2020.02

국내

제 58회 한국진공학회

평창

유도 결합 플라즈마(ICP)에서의 구동주파수 의존성 연구

김민석

295

2020.02

국내

제 58회 한국진공학회

평창

유도 결합 플라즈마에서 E ? H 모드 전이 중 안테나 전류 감소와 히스테리시스 발생

문준현

294

2019.11

국내

2019년 추계 한국반도체디스플레이기술학회

제주

하이브리드 플라즈마 소스를 이용한 CO2 분해에 대한 N2의 영향 연구

김관용

293

2019.11

국내

2019년 추계학술대회

평창

이온 주입 공정용 유도 결합 플라즈마 소스의 밸런스 축전기 유/무에 따른 특성 비교

정대철

292

2019.11

국내

2019년 추계학술대회

평창

산소 플라즈마에서 전자의 부착 및 탈락이 전자 에너지 분포 함수에 미치는 영향

정지원

291

2019.11

국내

2019년 추계학술대회

평창

2D spatial distribution measurement of floating potential in inductively coupled plasma

어현동

290

2019.11

국외

72th Gaseous Electronics Conference (2019 GEC)

미국

A method to measure the negative ion density distribution using a planar Langmuir probe in low- pressure oxygen plasmas

장애선

289

2019.11

국외

72th Gaseous Electronics Conference (2019 GEC)

미국

Effect of capacitor termination to antenna coil on electron density distribution in an inductively coupled plasma

김태우

288

2019.11

국외

72th Gaseous Electronics Conference (2019 GEC)

미국

A plasma diagnostic method by applying square voltages to a floating probe for deposition plasmas

이무영

287

2019.11

국외

72th Gaseous Electronics Conference (2019 GEC)

미국

Improvement of plasma generation in a capacitively coupled plasma

임영민

286

2019.11

국외

72th Gaseous Electronics Conference (2019 GEC)

미국

Electron energy probability function measurement in a 2 MHz and 13.56 MHz dual frequency capacitively argon discharge

김범석

285

2019.11

국외

72th Gaseous Electronics Conference (2019 GEC)

미국

Modified floating harmonic method by analyzing the harmonic currents of a DC blocking capacitor in a floating probe

서종인

284

2019.11

국외

72th Gaseous Electronics Conference (2019 GEC)

미국

Characterization of an inductively coupled plasma (ICP) source for ion implantation process

정대철

283

2019.11

국외

72th Gaseous Electronics Conference (2019 GEC)

미국

Effect of electron attachment and detachment reactions on electron energy distribution function in an inductive oxygen discharge

정지원

282

2019.08

국내

제 57회 하계정기학술대회

평창

유도 결합 플라즈마에서 안테나의 가상 접지가 전자 밀도 분포에 미치는 영향

김태우

281

2019.08

국내

제 57회 하계정기학술대회

평창

증착 플라즈마에서 부유 프로브의 과도전압 분석을 통한 전자온도와 이온 밀도 측정 방법

이무영

280

2019.08

국내

제 57회 하계정기학술대회

평창

축전 결합 플라즈마에서 인덕터 종단에 의한 플라즈마 z축 밀도 분포 영향

문호준

279

2019.08

국내

제 57회 하계정기학술대회

평창

아르곤 유도 결합 플라즈마에서 플라즈마 최적 생성 조건에 대한 연구

홍영훈

278

2019.08

국내

제 57회 하계정기학술대회

평창

이온 주입 공정용 유도 결합 플라즈마에서 이온 밀도 및 플라즈마 발생 효율 측정

정대철

277

2019.08

국내

제 57회 하계정기학술대회

평창

변형 부유 고조화법을 이용한 플라즈마 진단

서종인

276

2019.08

국내

제 57회 하계정기학술대회

평창

산소 플라즈마에서 전자의 부착 및 탈착이 전자 에너지 분포 함수에 미치는 영향

정지원

275

2019.08

국내

제 57회 하계정기학술대회

평창

축전 결합 플라즈마에서 병렬 인덕터를 이용한 플라즈마 발생 효율 향상

하우

274

2019.02

국내

제 56회 하계정기학술대회

평창

Capacitive load effect on sideband currents in a floating harmonic method with dual frequency probe bias

김경현

273

2019.02

국내

제 56회 하계정기학술대회

평창

Comparison of pressure dependence on electron temperature in high density Ar/O2 inductively coupled plasma

이무영

272

2019.02

국내

제 56회 하계정기학술대회

평창

Improving inductively coupled plasma(ICP) source for ion implantation using termination capacitor

정대철

271

2019.02

국내

제 56회 하계정기학술대회

평창

Measurement of electron energy probability function in 2 MHz and 13.56 MHz dual frequency capacitively coupled argon plasma

김범석

270

2019.02

국내

제 56회 하계정기학술대회

평창

Measurement of plasma parameters using harmonic voltage of capacitor in floating Langmuir probe

서종인

269

2019.02

국내

제 56회 하계정기학술대회

평창

The measurement of negative ion fraction considering the sheath expansion at oxygen inductively coupled plasmas using two-probe technique

정지원

268

2019.02

국내

KSTAR CONFERENCE

평창

Measurement of the plasma parameters and ELM characteristics in the FAR-SOL region of KSTAR suing multi-channel probe

홍영훈

267

2018.11

국외

71th Gaseous Electronics Conference (2018 GEC)

미국

전력 공급 방식에 따른 유도 결합 플라즈마 특성 변화 연구

김현준

266

2018.11

국외

71th Gaseous Electronics Conference (2018 GEC)

미국

Electrical characteristics and plasma parameters during E H mode transition in an inductively coupled plasma

문준현

265

2018.11

국외

71th Gaseous Electronics Conference (2018 GEC)

미국

Study on plasma parameter in oxygen plasma using a hybrid plasma source

김관용

264

2018.11

국외

71th Gaseous Electronics Conference (2018 GEC)

미국

Effect of rf bias frequency on plasma parameters in a remote inductively coupled plasma

장애선

263

2018.11

국외

71th Gaseous Electronics Conference (2018 GEC)

미국

Nonlinear circuit analysis of intermodulation currents via plasma sheath in a floating Langmuir probe

김경현

262

2018.11

국외

71th Gaseous Electronics Conference (2018 GEC)

미국

Electrical diagnostic method on electron temperature and ion density using the self-bias effect of square waveform voltage in a Langmuir probe

어현동

261

2018.11

국외

71th Gaseous Electronics Conference (2018 GEC)

미국

Effect of RF bias frequency and gas pressure on discharge mode transition in an inductively coupled plasma

이호원

260

2018.11

국외

71th Gaseous Electronics Conference (2018 GEC)

미국

Correlation between spatial distribution of wafer surface temperature and plasma parameters

임영민

259

2018.11

국외

71th Gaseous Electronics Conference (2018 GEC)

미국

Experimental and theoretical results on effect of multi-step ionization on total energy loss in an argon inductive discharge

홍영훈

258

2018.11

국외

71th Gaseous Electronics Conference (2018 GEC)

미국

Control of spatial distribution of plasma density by series inductence in a capacitively coupled plasma

문호준

257

2018.11

국외

71th Gaseous Electronics Conference (2018 GEC)

미국

Effect of step ionizations on the high energy electron temperature in an argon inductively coupled plasma

박근홍

256

2018.02

국내

2018 KSTAR CONFERENCE

무주

Measurement of plasma parameters and ELM characteristics of KSTAR using multi-channel probe

김관용

255

2017.11

국외

70th Gaseous Electronics Conference (2017 GEC)

미국

Measurement of ion energy distributions using a capillary plate with high-aspect ratio

문준현

254

2017.11

국외

70th Gaseous Electronics Conference (2017 GEC)

미국

Electron energy distribution function measurement in a CO2 /Ar inductively coupled plasma

김경현

253

2017.11

국외

70th Gaseous Electronics Conference (2017 GEC)

미국

Comparison of power transfer efficiency and plasma parameters of series and parallel antennas in inductively coupled plasmas

김태우

252

2017.11

국외

70th Gaseous Electronics Conference (2017 GEC)

미국

Plasma diagnostic method by using charged capacitor voltage

이무영

251

2017.11

국외

70th Gaseous Electronics Conference (2017 GEC)

미국

Experimental investigation of rf bias power on the plasma density and electron heating in an inductively coupled plasma

이호원

250

2017.11

국외

70th Gaseous Electronics Conference (2017 GEC)

미국

The effect of a remote plasma generator on a direct inductively coupled plasma

백세열

249

2017.11

국외

70th Gaseous Electronics Conference (2017 GEC)

미국

Experimental investigation on the E to H transition in a dual frequency inductively coupled plasma

김주호

248

2017.11

국외

70th Gaseous Electronics Conference (2017 GEC)

미국

Investigation of the flow rate effect on the plasma parameters by using miniaturized plasma diagnostic device in the remote plasma

어현동

247

2017.11

국외

70th Gaseous Electronics Conference (2017 GEC)

미국

Noninvasive plasma monitoring via the reactor substrates in an inductively coupled plasma reactor

박지환

246

2017.08

국내

2017 한국물리학회

경주

Measurement of KSTAR plasma parameters and ELM characteristics using multi-channel probe

김관용

245

2017.01

국내

2017KSTAR CONFERENCE

무주

Measurement of the plasma parameters after edge localized mode crash using harmonic method

김관용

244

2016.10

국외

69th Gaseous Electronics Conference (2016 GEC)

독일

High time-resolution spatial distribution measurement of the ion flux and the electron temperature in an inductively coupled plasma

박지환

243

2016.10

국외

69th Gaseous Electronics Conference (2016 GEC)

독일

Measurement of dielectric-film thickness at low densityplasma

전상범

242

2016.10

국외

69th Gaseous Electronics Conference (2016 GEC)

독일

Time-resolved probe measurement in pulsed plasma using advanced boxcar technique

김동환

241

2016.10

국외

69th Gaseous Electronics Conference (2016 GEC)

독일

On the optimal chamber length and electron heating mechanism in low pressure inductive discharges

강현주

240

2016.10

국외

69th Gaseous Electronics Conference (2016 GEC)

독일

Plasma characteristics in inductively abd capacitively coupled hybrid source using single RF power

김관용

239

2016.06

국외

2016 IEEE International Conference

캐나다

A fast method for obtaining electron energy distribution function by using Savitzky Golay technique

김동환

238

2016.06

국외

IEEE ICOPS 2016

캐나다

A FAST METHOD FOR OBTAINING ELECTRON ENERGY DISTRIBUTION FUNCTION BY USING SAVITZKY GOLAY TECHNIQUE

김현준

237

2016.06

국내

2016년 춘계 한국반도체디스플레이기술학회

전주

저밀도 플라즈마 진단을 위한 단일 랑뮤어 탐침법에서 외장필터개선에 관한 연구

김동환

236

2016.03

국외

ISPlasma2016/IC-PLANTS2016

일본

Multi-Layer deposition process control using impedence feedback system for 3D device fabrication

이래일

235

2016.03

국외

ISPlasma2016/IC-PLANTS2016

일본

Spatial distribution of floating potential at wafer level in electronegative plasma

장애선

234

2016.03

국외

ISPlasma2016/IC-PLANTS2016

일본

Computer simulation of charging effects in high aspect ratio structure

문준현

233

2016.03

국외

ISPlasma2016/IC-PLANTS2016

일본

Study on CO2 decomposition in CO2 and Ar mixing gas inductively coupled plasma

김경현

232

2016.02

국내

KSTAR Conference 2016

대전

Measurements of the plasma parameters after edge localized mode crash using detachment probe

박일서

231

2015.10

국외

68th Annual Gaseous Electronics Conference (2015 GEC)

미국

Improved tunable external filter for Langmuir probe measurement at low density plasmas

장윤민

230

2015.10

국외

68th Annual Gaseous Electronics Conference (2015 GEC)

미국

Experimental investigation on collisionless heating in a finite size inductively coupled plasma

구슬이

229

2015.10

국외

68th Annual Gaseous Electronics Conference (2015 GEC)

미국

Experimental investigation on collisionless electron heating mechanism through electron energy probability function measurement in a low pressure inductively coupled plasmas

강현주

228

2015.10

국외

68th Annual Gaseous Electronics Conference (2015 GEC)

미국

Spatial distribution of floating potiential at wafer level in inductively coupled plasmas

장애선

227

2015.10

국내

14th International Union of Materials Research Societies-International Conference on Advanced Materials

제주

Study of plasma parameters of low global warming potential gases and characteristics of silicon oxide etch in inductively coupled plasma

김유신

226

2015.10

국내

14th International Union of Materials Research Societies-International Conference on Advanced Materials

제주

Plasma diagnostic method for pulsed plasmas using sideband harmonic technique

김동환

225

2015.03

국외

7th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials

일본

A study on the harmonie currents by plasma sheath using floating Langmuir probe with series connection of capacitor

김경현

224

2015.03

국외

7th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials

일본

Effect of cylindrical-type antenna turns on the plasma parameters in inductively coupled plasmas

문준현

223

2015.03

국외

7th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials

일본

A study on plasma parameters in varions mixed Ar/SF 6 inductively coupled plasmas

오승주

222

2015.03

국외

7th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials

일본

The geometrie effect in the ftoating harmonie method for RF inductive coupled plasma diagnostics

이재원

221

2015.03

국외

7th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials

일본

Study of the numerical differentiation to obtain the electron distribution functions of the plasmas

강현주

220

2015.03

국외

7th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials

일본

Effect of Complex Permeability of the Ferrite Material to the Plasma Discharge in a Large Size Ferrite Inductively Coupled Plasma

김현준

219

2015.03

국외

7th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials

일본

High-Speed RF/Plasma Diagnostic and Control Technology in Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition (PEALD) Process

이래일

218

2015.02

국내

67th Annual Gaseous Electronics Conference(2014 GEC)

대전

Time-resolved measurements of Far-SOL plasma parameters after ELM crash using electrical probe

박일서

217

2014.11

국외

67th Annual Gaseous Electronics Conference(2014 GEC)

미국

In-situ measurement method of sheath capacitance in plasmas

김진용

216

2014.11

국외

67th Annual Gaseous Electronics Conference(2014 GEC)

미국

The effect of RF plasma fluctuation on floating harmonic probes

이재원

215

2014.11

국외

67th Annual Gaseous Electronics Conference(2014 GEC)

미국

Investigation of power dependence of electron density for various pressures

김준용

214

2014.11

국외

67th Annual Gaseous Electronics Conference(2014 GEC)

미국

Measurement of the surface charge accumulation using anodic aluminum ox-ide(AAO) structure in an inductively coupled plasma

박지환

213

2014.11

국외

67th Annual Gaseous Electronics Conference(2014 GEC)

미국

Study on self-bias effect in floating probe using dual frequency

박일서

212

2014.11

국외

67th Annual Gaseous Electronics Conference(2014 GEC)

미국

Experimental investigation of plasma parameter profiles on wafer level with dis-charge gap lengths in an inductively coupled plasma

김주호

211

2014.11

국외

67th Annual Gaseous Electronics Conference(2014 GEC)

미국

Tunable external RF choke filter design for single Langmuir probe in RF discharges

전상범

210

2014.11

국외

67th Annual Gaseous Electronics Conference(2014 GEC)

미국

On harmonic diagnostic method using two frequencies in a floating Langmuir probe

김동환

209

2014.11

국외

67th Annual Gaseous Electronics Conference(2014 GEC)

미국

Analysis of the harmonic currents in floating probes with dielectric films

김경현

208

2014.11

국외

67th Annual Gaseous Electronics Conference(2014 GEC)

미국

E-H transition and Hysteresis in Radio-Frequency Inductively Coupled Plasmas

이효창

207

2014.11

국외

67th Annual Gaseous Electronics Conference(2014 GEC)

미국

Transition of Plasma Electrons from Anisotropy to Isotropy at Beginning of the Pulsed Discharges

이효창

206

2014.11

국외

67th Annual Gaseous Electronics Conference(2014 GEC)

미국

Experimental observation of transit time resonance heating through electron energy distribution function measurement in a low pressure inductively coupled plasma

강현주

205

2014.11

국외

67th Annual Gaseous Electronics Conference(2014 GEC)

미국

Hysteresis in Radio-Frequency Inductively Coupled Plasmas

이효창

204

2014.07

국내

5th International Conference Microelectronics and Plasma Technology

군산

Enhanced plasma process by electron energy distribution control

이효창

203

2014.07

국내

5th International Conference Microelectronics and Plasma Technology

군산

Plasma density dynamics during gas on/off

이효창

202

2014.05

국외

IEEE Wireless Power Transfer Conference 2014

군산

A New Design of Wireless Power Transfer System Using Helical Resonators Applicable to Multi-Channel Power Transmission

김영도

201

2014.05

국외

21st International Conference on Plasma Surface Interactions in Controlled Fusion Devices

제주

Study on plasma characteristics after ELM crash using electrical probe diagnostics at the Far-SOL region of Tokamak plasma

박일서

200

2014.02

국내

제21회 한국반도체학술대회

서울

Distribution of Plasma Parameters at Wafer Level Measured by 2D Plasma Parameter Diagnostic Method in Inductively Coupled Plasmas

김영철

199

2014.02

국내

제21회 한국반도체학술대회

서울

A Study on the Enlargement of the Plasma Reactor using a Global Model

김동환

198

2014.02

국내

제21회 한국반도체학술대회

서울

Effects of Ferrite Core Loss and Permeability at 400 kHz Ferrite Inductively

조성원

197

2014.02

국내

KSTAR Conference 2014

무주

Observation of the ELM activity at Far-SOL region of KSTAR tokamak plasma using electrical probe

박일서

196

2013.11

국외

International Conference on Surface Engineering 2013

부산

A comparative study on the floating harmonic method using dual frequency in an inductive discharge

김동환

195

2013.11

국외

International Conference on Surface Engineering 2013

부산

Thermo-Compression Flipchip Interconnection using Plasma Enhanced Copper Organic Solderability Preservative Etched Substrate

조성원

194

2013.11

국외

9th Asia Plasma and Fusion Association Conference/font>

경주

A plasma diagnostic technique using intermodulation frequencies in a floating Langmuir probe

김동환

193

2013.11

국외

9th Asia Plasma and Fusion Association Conference

경주

Time-resolved measurements of far-SOL plasma arameters in H-mode discharges during ELM crash using sideband technique

김현준

192

2013.09

국외

66th Gaseous Electronics Conference(2013 GEC)

미국

A new method for measuring pulsed plasma with hightime resolution based on floating harmonic method

김유신

191

2013.09

국외

66th Gaseous Electronics Conference(2013 GEC)

미국

A study of increasing radical density and etch rate using remote plasma generator system

이재원

190

2013.09

국외

66th Gaseous Electronics Conference(2013 GEC)

미국

Real time monitoring of dielectric-film thickness on the surface of chamber wall for plasma processing

김진용

189

2013.09

국외

66th Gaseous Electronics Conference(2013 GEC)

미국

Evolution of Electron Temperature and Coupling between Electron Temperature and Power Absorption

이효창

188

2013.09

국외

66th Gaseous Electronics Conference(2013 GEC)

미국

A study on measurement of the surface charge accumulation using anodic aluminum oxide template

오승주

187

2013.09

국외

66th Gaseous Electronics Conference(2013 GEC)

미국

Non-invasive electrical method for measurement of electron temperature in an atmospheric pressure plasma jet source

김영철

186

2013.09

국외

66th Gaseous Electronics Conference(2013 GEC)

미국

Effect of Radio Frequency Bias on the Plasma Density and Electron Heating in Inductive Discharge

이효창

185

2013.09

국외

66th Gaseous Electronics Conference(2013 GEC)

미국

Polymerizable Supramolecular Sensor for Plasma Diagnostics on Wafer Level

이효창

184

2013.09

국외

66th Gaseous Electronics Conference(2013 GEC)

미국

Measurement of electron energy distribution functions in a low pressure and low density inductively coupled plasma

강현주

183

2013.09

국외

66th Gaseous Electronics Conference(2013 GEC)

미국

E to H Heating Mode Transition and Hysteresis in Inductively Coupled Plasma

이효창

182

2013.08

국외

9th Asian-European International Conference On Plasma Surface Engineering

제주

Effect of Flow Rate related to Pressure Gradient in Plasma Process Reactor

이효창

181

2013.08

국외

9th Asian-European International Conference On Plasma Surface Engineering

제주

Effect of Flow Rate on the Plasma Parameters in a Dual Type Inductively Coupled Plasma

조성원

180

2013.08

국외

9th Asian-European International Conference On Plasma Surface Engineering

제주

E-H transition measurement in cylindrical ICP with external DC magnetic field

김경현

179

2013.08

국외

9th Asian-European International Conference On Plasma Surface Engineering

제주

Correlation between electrical characteristics of RF bias and plasma parameters in biased inductively coupled plasmas

오승주

178

2013.08

국외

9th Asian-European International Conference On Plasma Surface Engineering

제주

Experimental verification of the characteristic of plasmas on the effect of antenna turns in inductively coupled plasmas

문준현

177

2013.08

국외

9th Asian-European International Conference On Plasma Surface Engineering

제주

Photochromic Polymer Sensor for Plasma Diagnostic

이효창

176

2013.08

국외

9th Asian-European International Conference On Plasma Surface Engineering

제주

Effect of Antenna Size on the E to H Heating Mode Transition in Inductively Coupled Plasma

이효창

175

2013.06

국외

2013 International Forum on Functional Materials

제주

Gas temperature measurement in atmospheric pressure plasma sources

김영철

174

2013.06

국외

Pulsed Power & Plasma Science Conference

미국

OBSERVATION OF THE ELM ACTIVITY IN THE FAR SOL REGION OF KSTAR TOKAMAK PLASMA USING PROBE DIAGNOSTICS

박일서

173

2013.06

국외

Pulsed Power & Plasma Science Conference

미국

ADVANCED ELECTROSTATIC PLASMA DIAGNOSTIC USING SIDEBAND FLOATING HARMONIC METHOD

김동환

172

2013.02

국내

제 43회 한국진공학회

평창

SMP(Symmetric Multi-Power) 안테나에 의한 플라즈마 밀도 분포 개선에 대한 연구

이재원

171

2013.02

국내

제 43회 한국진공학회

평창

유도 결합 산소 플라즈마에서 고조화파 분석법을 이용한 음이온 공간 분포 측정

황혜주

170

2013.02

국내

제 43회 한국진공학회

평창

펄스플라즈마에서 부유고조화를 이용하여 고시간분해능으로 플라즈마 진단방법

김유신

169

2013.02

국내

제 43회 한국진공학회

평창

유도결합 플라즈마에서 임피던스 정합조건을 이용한 비침투식 진단방법

김영도

168

2013.02

국내

제 43회 한국진공학회

평창

다양한 부유 고조화파 탐침법의 비교연구

김동환

167

2013.02

국내

제 43회 한국진공학회

평창

평판형 탐침을 이용한 공정 챔버 벽 증착 막 두께 측정

김진용

166

2013.02

국내

제 43회 한국진공학회

평창

저밀도 유도 결합 플라즈마에서 전자 에너지 분포 측정

강현주

165

2013.02

국내

제 43회 한국진공학회

평창

극판 전극이 인가된 유도 결합 플라즈마에서 유도 결합 전기장과 용량성 결합 전기장에 관한 전자 가열 연구

오승주

164

2013.02

국내

제 43회 한국진공학회

평창

플라즈마에서 볼츠만 관계식의 실험적 검증

이효창

163

2013.02

국내

제 43회 한국진공학회

평창

이중 주파수의 위상변화에 따른 자기바이어스를 이용한 플라즈마 변수 측정

박일서

162

2012.10

국외

65th Gaseous Electronics Conference(2012 GEC)

미국

Spatial plasma potentials and electron energy distributions in inductively and capacitively coupled plasmas under a weakly collisional and nonlocal electron kinetic regime

이효창

161

2012.10

국외

65th Gaseous Electronics Conference(2012 GEC)

미국

Experimental measurement of plasma parameters and electron energy distribution in ferrite-core side type Ar/He inductively coupled plasma

한덕선

160

2012.10

국외

65th Gaseous Electronics Conference(2012 GEC)

미국

Transmission characteristics of the wave cut-off probe with parallel plates

강현주

159

2012.10

국외

65th Gaseous Electronics Conference(2012 GEC)

미국

Spatial distributions measurement of negative ion density by using floating probe in the oxygen inductive coupled plasmas

황혜주

158

2012.10

국외

65th Gaseous Electronics Conference(2012 GEC)

미국

Control of plasma density profile via wireless power transfer in an inductively coupled discharge

이희진

157

2012.08

국외

The 2nd International Symposium on Plasma Biosciences

서울

GAS TEMPERATURE MEASUREMENT USING OPTICAL EMISSION SPECTROSCOPY FOR ATMOSPHERIC PLASMA DIAGNOSTICS

김영철

156

2012.08

국외

The 2nd International Symposium on Plasma Biosciences

서울

electron temperature measurement in an atmospheric plasma using floating harmonics method

김영철

155

2012.07

국외

International Conference on Plasma Science

영국

Plasma diagnostics with high-time resolution based on floating harmonic method in pulsed plasma

김유신

154

2012.07

국외

International Conference on Plasma Science

영국

Probe diagnostics in the edge of KSTAR tokamak plasma using fast floating harmonic method

김동환

153

2012.07

국외

4th ICMAP

제주

Interpolation for two-dimensional spatial distribution estimation of plasma densities in a cylindrical RF discharge reactor

오세진

152

2012.07

국외

4th ICMAP

제주

The Digital Matching System with Transformer type for 400 kHz Ferrite inductively Coupled Plasma

조성원

151

2012.07

국외

4th ICMAP

제주

Mode transition of power dissipation in and plasma parameters in an asymmetric capacitive discharge

이수진

150

2012.07

국외

4th ICMAP

제주

Collisionless electron heating and control of electron energy distribution by adding pulsed inductive fields in capacitively coupled plasma

이효창

149

2012.07

국외

4th ICMAP

제주

Characteristics of electron cyclotron resonance in magnetized solenoid type inductively coupled plasmas

이재원

148

2012.07

국외

4th ICMAP

제주

A study on the correlations between external discharge parameters and plasma characteristics in an inductively coupled plasma using transformer circuit model

김영도

147

2012.07

국외

4th ICMAP

제주

A study on the scale up of plasma processing chamber by using global model

김동환

146

2012.07

국외

4th ICMAP

제주

Spatial characteristics of plasma parameters in a weak dc magnetic field in solenoidal inductive discharge

김영도

145

2012.07

국외

4th ICMAP

제주

A new method for measuring transferred power to plasma in inductive discharge

황혜주

144

2012.06

국외

IMWS-IWPT2012

일본

Electromagnetically Coupled Resonators Using Toroidal Ferrite Core for Wireless Power Transfer

이희진

143

2012.03

국내

ISPlasma2012

Japan(Aichi)

Effect of balanced power on plasma parameters in inductively coupled plasma

김현준

142

2012.03

국내

ISPlasma2012

Japan(Aichi)

electrical inspection system by using rf plasmas for printed circuit boards

오세진

141

2012.03

국내

ISPlasma2012

Japan(Aichi)

Floating method using a pulse signal for measurement of electron energy distribution function in plasmas

최익진

140

2012.03

국내

ISPlasma2012

Japan(Aichi)

A simple analysis method for the I-V curve of single Langmuir probe in non-Maxwellian plasmas

최익진

139

2012.02

국내

KSTAR Conference

무주

Plasma diagnostic in the SOL region of KSTAR using floating harmonic method

김동환

138

2012.02

국내

제 42회 한국진공학회

평창

전력 공급 방식에 따른 유도 결합 플라즈마 특성 변화 연구

김현준

137

2012.02

국내

제 42회 한국진공학회

평창

준안정 준위를 포함한 헬륨 플라즈마의 영차원 모사 연구

오승주

136

2012.02

국내

제 42회 한국진공학회

평창

유도 결합 플라즈마에서 시스템의 소비 전력 측정 방법에 대한 연구

황혜주

135

2012.02

국내

제 42회 한국진공학회

평창

0차원 모델을 이용한 공정장비 Scale Up 연구

김동환

134

2012.02

국내

제 42회 한국진공학회

평창

Uniformity Control by Using Helium Gas in the Large Area Ferrite Side Type inductively Coupled Plasma

한덕선

133

2012.02

국내

제 42회 한국진공학회

평창

자기장을 인가한 솔레노이드형 유도 결합 플라즈마 장치에서의 전자 싸이클로트론 공명 플라즈마 특성

이재원

132

2011.11

국내

제 42회 한국진공학회

평창

고주파수 축전 결합 플라즈마에서 플라즈마 변수들이 전기장 분포에 미치는 영향에 대한 연구

강현주

131

2012.02

국내

제 42회 한국진공학회

평창

유도결합플라즈마에서 플라즈마 변수와 전자 에너지 분포에 대한 RF bias의 영향

이효창

130

2011.11

국외

64th Gaseous Electronics Conference

U.S.A(Salt Lake city)

Role of additional inductive power on the electron energy distribution in Ar/O2 capacitively coupled plasma

이효창

129

2011.11

국외

64th Gaseous Electronics Conference

U.S.A(Salt Lake city)

The effect of collision frequency on the electric field distribution in a high frequency capacitive discharge

강현주

128

2011.11

국외

64th Gaseous Electronics Conference

U.S.A(Salt Lake city)

Experimental observation of balanced power effect of antenna on plasma parameters in inductively coupled plasma

김현준

127

2011.11

국외

64th Gaseous Electronics Conference

U.S.A(Salt Lake city)

Measurement of power transfer efficiency and ion density in various radio-frequency inductively couipled plasma

이재원

126

2011.11

국외

64th Gaseous Electronics Conference

U.S.A(Salt Lake city)

A study on plasma parameters in various mixed Ar/SF6 inductively coupled plasma

오승주

125

2011.11

국외

64th Gaseous Electronics Conference

U.S.A(Salt Lake city)

A simple analysis of inductively coupled discharge using transformer circuit model

김영도

124

2011.11

국외

64th Gaseous Electronics Conference

U.S.A(Salt Lake city)

Measurement of electron energy distribution in magnetized solenoidal inductively coupled plasma

김진용

123

2011.11

국외

64th Gaseous Electronics Conference

U.S.A(Salt Lake city)

Electrical characteristics and mode transition of power dissipation in an asymmetric capacitively coupled plasma

이수진

122

2011.11

국외

64th Gaseous Electronics Conference

U.S.A(Salt Lake city)

Experimental investigation of argon metastable density and electron temperature in low-pressure plasma by line ratio OES technique

이영광

121

2011.11

국외

64th Gaseous Electronics Conference

U.S.A(Salt Lake city)

Double probe using an ac bias signal for plasma parameters measurement

오세진

120

2011.11

국외

64th Gaseous Electronics Conference

U.S.A(Salt Lake city)

A study on floating method in non-Maxwellian plasmas

유경

119

2011.11

국외

64th Gaseous Electronics Conference

U.S.A(Salt Lake city)

Measurement of the plasma density and electron temperature uniformities in inductively coupled plasmas using 2D real time measurement method

김영철

118

2011.08

국내

제41회 한국진공학회 동계정기학술대회

대구

광방사 세기비를 이용한 공정 플라즈마의 변수 진단

이영광

117

2011.08

국내

제41회 한국진공학회 동계정기학술대회

대구

충돌주파수가 고주파 수평행평판 플라즈마의 전기장 균일도에 미치는 영향 연구

강현주

116

2008.01

국외

The 3rd International Conference on Microelectronics and Plasma Technology

China(Dalina)

Real-time Dose Monitoring System by Sensing Implanter Current and Biased Pulse Voltage in Plasma Source Ion Implantation

오세진

115

2011.07

국외

The 3rd International Conference on Microelectronics and Plasma Technology

China(Dalina)

Studies on the spatial and Temporal Behaviors of the Electron Energy Distribution and Plasma Parameters in inductively and/or capacitively coupled plasma

이효창

114

2011.07

국외

The 3rd International Conference on Microelectronics and Plasma Technology

China(Dalina)

Numerical Calculation of Spatial Electric Field by RF Bias in High Density Plasmas

오승주

113

2011.07

국외

The 3rd International Conference on Microelectronics and Plasma Technology

China(Dalina)

Study on plasma uniformity by using 2D real time measurement method in Ar/He inductively coupled plasmas

김영철

112

2011.07

국외

The 3rd International Conference on Microelectronics and Plasma Technology

China(Dalina)

Spatial evolutions of the electron energy distributions in a weakly magnetized solenoidal-type inductively coupled plasma

김영도

111

2011.02

국내

국가핵융합연구소(NFRI)

무주

Real-time observation of capacitance of surface material during plasma operation

방진영

110

2011.02

국내

한국진공학회 제40회 동계 정기학술대회

평창

공정 플라즈마 진단을 위한 고조화파 분석법 및 진단 결과

정진욱

109

2011.02

국내

한국진공학회 제40회 동계 정기학술대회

평창

플라즈마로부터의 이온포격에 의한 표면물질의 유전체 특성 변화 관찰

방진영

108

2011.02

국내

한국진공학회 제40회 동계 정기학술대회

평창

반도체 플라즈마 이온 주입공정에서 직류 펄스 전압, 전류 감지를 통한 실시간 도즈 모니터링 시스템 개발

오세진

107

2011.02

국내

한국진공학회 제40회 동계 정기학술대회

평창

유도 결합 플라즈마에서 밸런스 파워에 의한 전자밀도의 증가 효과

김현준

106

2011.02

국내

한국진공학회 제40회 동계 정기학술대회

평창

비대칭 전극 구조를 갖는 용량성 결합 플라즈마에서의 방전 특성과 전력 소비 모드 전이에 관한 연구

이수진

105

2011.02

국내

한국진공학회 제40회 동계 정기학술대회

평창

다양한 공정 주파수에서 유도 결합 플라즈마의 플라즈마 밀도와 에너지 전달 효율 측정

이재원

104

2011.02

국내

한국진공학회 제40회 동계 정기학술대회

평창

축전기의 과도 현상을 이용한 부유형 단일탐침 플라즈마 진단법 연구

최익진

103

2011.02

국내

한국진공학회 제40회 동계 정기학술대회

평창

The influence of radiation trapping on the metastable population density and applications to low-pressure plasma

이영광

102

2011.02

국내

한국진공학회 제40회 동계 정기학술대회

평창

표면 분석법을 이용한 플라즈마에서의 보론박막 두께 측정

유경

101

2010.01

국외

63rd Gaseous Electronics Conference & 7th International Conference on Reactive Plasmas

France(Paris

Measurement of the electron energy distribution function and E-H mode transition in inductively coupled plasma with various gases

이정규

100

2010.01

국외

63rd Gaseous Electronics Conference & 7th International Conference on Reactive Plasmas

France(Paris)

In situ feedback control of ion flux by using a floating harmonic method in processing plasmas

김유신

99

2010.01

국외

63rd Gaseous Electronics Conference & 7th International Conference on Reactive Plasmas

France(Paris)

Developement of an embedded two-dimensional probe for diagnostic of the spatial uniformity in plasmas

김진용

98

2010.01

국외

63rd Gaseous Electronics Conference & 7th International Conference on Reactive Plasmas

France(Paris)

RF-compensation method using Langmuir probe with auxiliary double probes

오세진

97

2010.01

국외

63rd Gaseous Electronics Conference & 7th International Conference on Reactive Plasmas

France(Paris)

xperimental measurement of the plasma parameters in Ar/SF6 inductively coupled plasma

오승주

96

2010.01

국외

63rd Gaseous Electronics Conference & 7th International Conference on Reactive Plasmas

France(Paris)

Investigation of the negative ion temperature and ion flux in low-pressure SF6 plasma using the AC-superposition method

이영호

95

2010.01

국외

63rd Gaseous Electronics Conference & 7th International Conference on Reactive Plasmas

France(Paris)

Analysis of current harmonics and application on the floating harmonics method with multiple voltane waveforms in a plasma

김영도

94

2010.01

국외

63rd Gaseous Electronics Conference & 7th International Conference on Reactive Plasmas

France(Paris)

Experimental result of two dimensional spatial distribution of plasma parameters in CVD processing plasma

김영철

93

2010.01

국외

63rd Gaseous Electronics Conference & 7th International Conference on Reactive Plasmas

France(Paris)

Effect of flow rate on the plasma parameters and electron energy distribution in plasma pocess reactor

이효창

92

2010.01

국외

63rd Gaseous Electronics Conference & 7th International Conference on Reactive Plasmas

France(Paris)

E-H heating mode transition in high-pressure helium inductively coupled plasma

이효창

91

2010.01

국외

63rd Gaseous Electronics Conference & 7th International Conference on Reactive Plasmas

France(Paris)

Strong modification of the electron energy distribution function in inductive discharge in SF6/Ar plasmas due to additional capacitive bias with small power input

이효창

90

2010.01

국외

63rd Gaseous Electronics Conference & 7th International Conference on Reactive Plasmas

France(Paris)

Measurement of metastable fractions and effect of stepwise ionizations in inductively coupled argon plasmas by optical emission spectroscopy

이영광

89

2010.01

국외

63rd Gaseous Electronics Conference & 7th International Conference on Reactive Plasmas

France(Paris)

Synergistic effect of dual power on plasma density by shift of power absorption region in inductively coupled plasma

방진영

88

2010.08

국내

10th IEEE international Conference on Nanotechnology joint symposium with nano Korea 2010

일산

Inductively couples RF heating of nano-particle for non-invasive and selective cancer cell destruction

이효창

87

2010.07

국내

The 10th Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology and the 23rd Symposium on Plasma Science for Materials

제주

A two-dimensional interpolation algorithm for spatial density profile evaluation in RF plasmas

오세진

86

2010.07

국내

The 10th Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology and the 23rd Symposium on Plasma Science for Materials

제주

Plasma non-uniformity by RF bias power in inductively coupled plasma

이효창

85

2010.07

국외

The 10th Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology and the 23rd Symposium on Plasma Science for Materials

제주

Effects fo flow rate on the plasma parameters in plasma process reactor

이효창

84

2010.07

국내

The 10th Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology and the 23rd Symposium on Plasma Science for Materials

제주

Metastable number density and stepwise ionization in a low-pressure inductively coupled argon plasma

이영광

83

2010.07

국내

The 10th Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology and the 23rd Symposium on Plasma Science for Materials

제주

A self-consistent model of collisionless oscillating sheaths for ion energy simulation in various types of dual frequency capacitively coupled plasma

방진영

82

2010.07

국내

The 10th Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology and the 23rd Symposium on Plasma Science for Materials

제주

New plasma diagnostic method using the harmonic analysis method and its application in processing plasmas

정진욱

81

2009.01

국외

62th Gaseous Electronics Conference

U.S.A(New York)

Effects of RF-bias power on plasma parameters in a low gas pressure inductively coupled plasma

이효창

80

2009.01

국외

62th Gaseous Electronics Conference

U.S.A(New York)

Additional Planar Antenna Effect on the Ferromagnetic Core Incudtively Coupled Plasma

방진영

79

2009.01

국외

62th Gaseous Electronics Conference

U.S.A(New York)

Investigation of electron energy distribution function in a weak magnetic field in solenoidal inductive discharge

이영광

78

2009.01

국외

62th Gaseous Electronics Conference

U.S.A(New York)

Experimental observation of the transition from nonlocal to local kineticsin inductively coupled plasma

이효창

77

2009.01

국외

62th Gaseous Electronics Conference

U.S.A(New York)

Measurement of total energy losses per electron-ion lost in various mixed gas inductively coupled plasmas

구주환

76

2009.01

국외

62th Gaseous Electronics Conference

U.S.A(New York)

Floating Harmonics Method  for non-Maxwellian plasmas

김아람

75

2009.01

국외

62th Gaseous Electronics Conference

U.S.A(New York)

Real time two-dimensional spatial distribution measurement method of electron temperature and plasma density

김영철

74

2009.01

국외

62th Gaseous Electronics Conference

U.S.A(New York)

Measurement of Sheath Thickness using a Cylindrical Probe at a Floating Potential

한형식

73

2009.01

국외

62th Gaseous Electronics Conference

U.S.A(New York)

Electron temperature measurement  by using an optical emission spectroscopy in inductive Ar/O2 mixture discharge

김유신

72

2008.01

국내

2nd International Conference on Microelectronics and Technology

부산

Langmuir probe perturbation  in inductively coupled plasmas

장성호

71

2009.01

국내

2nd International Conference on Microelectronics and Technology

부산

Low energy electron heating and evolution of the electron energy distribution by diluted O2 in a planar inductive Ar/O2 mixture discharge

이효창

70

2009.01

국내

2nd International Conference on Microelectronics and Technology

부산

Measurement of total energy losses per electron-ion lost in various mixed gas inductively coupled plasmas

구주환

69

2009.01

국내

2nd International Conference on Microelectronics and Technology

부산

Floating Harmonics Method for Non-Maxwellian plasmas

김아람

68

2009.01

국내

2nd International Conference on Microelectronics and Technology

부산

Measurement of Sheath Thickness using a Cylindrical Probe at a Floating Potential

한형식

67

2009.01

국내

2nd International Conference on Microelectronics and Technology

부산

Spectroscopic measurement of the electron temperature by using a simple collisional-radiative model in inductive Ar/O2 mixture discharge

김유신

66

2008.01

국외

AVS 55th international symposium & exhibitation

U.S.A(Bosgton)

Real time feedback control of  plasma  density by using a floating probe  in inductively coupled plasmas

장성호

65

2008.01

국외

International Conference on Surface Engineering 2013

U.S.A(Dallas)

Experimetal investigation on Edge-to-Center density ratio in an inductively coupled plasma

김건호

64

2008.01

국외

61th Gaseous Electronics Conference

U.S.A(Dallas)

Real-time measurement of electron temperatures and ion densities using self-bias effect in argon inductively coupled plasma

황광태

63

2008.01

국외

61th Gaseous Electronics Conference

U.S.A(Dallas)

Electron series resonance in an inductive ion etching reactor

이효창

62

2008.01

국외

61th Gaseous Electronics Conference

U.S.A(Dallas)

New method to measure the electron temperature in Ar/He mixture capacitive discharge

이효창

61

2008.01

국외

61th Gaseous Electronics Conference

>U.S.A(Dallas)

Experimental investigation on the Boltzmann relation for a bi-Maxwellian plasma

방진영

60

2008.01

국외

61th Gaseous Electronics Conference

U.S.A(Dallas)

Experimental Measurement of the total energy losses in a low pressure inductively coupled argon plasma

이영광

59

2008.01

국외

61th Gaseous Electronics Conference

U.S.A(Dallas)

Simple Analysis method of I-V Curve

최익진

58

2008.01

국외

61th Gaseous Electronics Conference

U.S.A(Dallas)

Real time feedback control of  plasma  density by using a floating probe in inductively coupled plasmas

장성호

57

2008.8

국내

1st International conference on microelectronics and plasma technology

제주

Langmuir probe perturbation in inductively coupled plasmas

장성호

56

2008.08

국내

한국진공학회 제35회 하계 정기학술대회

제주

자기 바이어스 현상을 이용한 전자온도 및 이온밀도 측정연구

황광태

55

2008.06

국내

제 2회 반도체 공정 진단 워크샵

대전

축전 결합 플라즈마에서 전자온도를 측정하는 새로운 방법

이효창

54

2008.02

국내

한국진공학회 제34회 동계 정기학술대회

용인

실시간 플라즈마 진단 기술

정진욱

53

2008.01

국내

SEMI Technology Symposium 2008

서울

New Plasma Processing Monitoring Technology

정진욱

52

2007.11

국내

PAM User Conference in Korea HnaPAM 2007

서울

The study of the plasma characteristics According to Antennas position in inductively coupled plasma

장성호

51

2007.11

국내

대한전기학회 전력기술부문회 정기 총회 및 추계학술대회

횡성

유도결합 플라즈마에서 두 안테나의 구조에 따른 특성 연구

김진성

50

2007.01

국외

60th Gaseous Electronics Conference

U.S.A(Arlington)

Measurement of electron temerature and argon metastable density by measuring optical emission in the inductively coupled plasma

이영광

49

2007.01

국외

60th Gaseous Electronics Conference

U.S.A(Arlington)

Langmuir probe perturbation in plasma distribution measurement in an inductively coupled plasma

장성호

48

2007.01

국외

60th Gaseous Electronics Conference

U.S.A(Arlington)

Development of a novel Inductive coupled plasma source

남형호

47

2007.01

국외

60th Gaseous Electronics Conference

U.S.A(Arlington)

The effect of a planar antenna on a ferromagnetic core ICP

방진영

46

2007.08

국내

한국진공학회 제33회 정기학술대회

제주

비침투식 이온 선속 측정

윤인창

45

2007.06

국외

International Conference On Plasma Science 2007

U.S.A(Albuquerque)

E to H transition mechanisms in inductively coupled plasma

이민형

44

2007.06

국외

International Conference On Plasma Science 2007

U.S.A(Albuquerque)

The digital matching network for a ferromagnetic ICP driven at 400 Khz

조성원

43

2007.06

국외

한국 반도체 및 디스플레이 장비 학회 2007 춘계 학술대회

서울

고효율 회전대칭성 향상을 위한 유도결합 플라즈마 안테나

남형호

42

2007.06

국내

한국 반도체 및 디스플레이 장비 학회 2007 춘계 학술대회

서울

400kHz 페라이트 유도결합 플라즈마를 위한 임피던스 매칭 네트워크

조성원

41

2007.06

국내

한국 반도체 및 디스플레이 장비 학회 2007 춘계 학술대회

서울

보조 안테나를 이용한 측면형 페라이트 ICP의 플라즈마 변수 제어

방진영

40

2007.06

국내

한국 반도체 및 디스플레이 장비 학회 2007 춘계 학술대회

서울

아르곤 4p 준위 광방출법을 이용한 플라즈마의 전자온도 및 준안정 밀도 측정

이영광

39

2007.06

국내

한국 반도체 및 디스플레이 장비 학회 2007 춘계 학술대회

서울

Experiment and characteristics for size of a planar rf-antenna in ICP(inductively coupled plasma)

이효창

38

2006.01

국외

59th Gaseous Electronics Conference

U.S.A(Columbus)

Electrical and plasma parameters of side type ferromagnetic ICP

이경효

37

2006.01

국외

59th Gaseous Electronics Conference

U.S.A(Columbus)

On the multistep ionizations in argon inductively coupled plamas

이민형

36

2006.01

국외

59th Gaseous Electronics Conference

U.S.A(Columbus)

On the E to H and H to E transition mechanisms in inductively coupled plasmas

이민형

35

2006.01

국외

59th Gaseous Electronics Conference

U.S.A(Columbus)

Measurement of ion density and electron temperature in Hanbit magnetic mirror device by using RF compensation triple probe

최익진

34

2006.07

국외

8th Asia-Pacific Conference on Plasma Science and Technology

Australia(Queensland)

Electrical and plasma parameters of ferromagnetic ICP as an alternative plasma processing tool

이경효

33

2006.07

국외

8th Asia-Pacific Conference on Plasma Science and Technology

Australia(Queensland)

The study of the multi-step ionizations in an argon inductively coupled plasma

장성호

32

2006.06

국내

대한전기학회 제 37회 하계학술대회

서울

RF보상 삼중탐침을 이용한 한빛자기거울플라즈마의 진단과 특성연구

최익진

31

2006.06

국외

International Conference On Plasma Science 2006

U.S.A(Traverse)

New probe method applicable to plasma processing

이민형

30

2006.05

국외

11th Light Sources Workshop 2006

China(Shanghai)

Investigation of Shielding Effects of Double Half Turn Antenna and deveopment of plasma diagnostic system applicable for light source

최익진

29

2006.04

국내

한국물리학회 2006년 봄 학술논문발표회 및 제82회 정기총회

평창

부유형 단일탐침을 이용한 플라즈마 진단법

최익진

28

2006.04

국내

한국물리학회 2006년 봄 학술논문발표회 및 제82회 정기총회

평창

RFTC의 DHT 안테나의 코팅에 따른 방전특성 측정

최익진

27

2005.01

국외

58th Gases Electronics Conference

U.S.A(San Jose)

Measurements of the Sheath Capacitance using a Tunnel Diode Oscillator in Inductively Coupled Plasmas

오세진

26

2005.01

국외

58th Gases Electronics Conference

U.S.A(San Jose)

Noninvasive Measurement of Ion Energy Distributions in a Plasma Etching System

오세진

25

2005.01

국외

58th Gases Electronics Conference

U.S.A(San Jose)

Absolute electron density measurement using the cut-off method in magnetized plasmas

최익진

24

2005.01

국외

58th Gases Electronics Conference

U.S.A(San Jose)

On the floating type Langmuir probe using the harmonic technique in inductively coupled plasmas

장성호

23

2005.01

국외

58th Gases Electronics Conference

U.S.A(San Jose)

Electrical and Plasma Parameters of Distributed ICP Driven by Ferromagnetic Core Array

이원기

22

2005.08

국내

한국진공학회 제 29회 학술발표회

대전

부유형 단일탐침을 이용한 플라즈마 진단법

최익진

21

2005.08

국내

한국진공학회 제 29회 학술발표회

대전

하모닉테크닉을 이용하는 플로팅형 랭뮤어 탐침 측정에 관한 연구

장성호

20

2005.07

국내

대한전기학회 2005년도 제 36회 하계학술대회

평창

RF 보상 삼중탐침을 통한 RF 플라즈마 진단

최익진

19

2005.07

국내

대한전기학회 2005년도 제 36회 하계학술대회

평창

전자 에너지 분포 함수 측정을 위한 I V 특성 곡선의 확률 밀도함수를 이용한 smoothing method

장성호

18

2005.06

국외

International Conference On Plasma Science 2005

U.S.A(Monterey)

Characterization of inductively coupled plasma driven with ferrite cores at 400kHz

이원기

17

2005.06

국외

International Conference On Plasma Science 2005

U.S.A(Monterey)

Comparison of plasma density measurements using electrical probes and microwave probes in inductively coupled plasma

김원기

16

2005.05

국외

대한전기학회 2005 춘계 고전압 및 방전 응용기술연구회

서울

Double Half Turn 안테나에 의해 발생된 플라즈마 특성연구

박남석

15

2005.04

국내

한국물리학회 제81회 정기총회 및 연구논문발표회

서울

EEDF 측정을 위한 확률 밀도 함수 smoothing 방법

장성호

14

2005.04

국내

한국물리학회 제81회 정기총회 및 연구논문발표회

서울

아르곤 유도결합 플라즈마에서 정전 탐침과 마이크로파 탐침을 이용한 플라즈마 밀도 측정 비교 연구

김원기

13

2005.04

국내

한국물리학회 제81회 정기총회 및 연구논문발표회

서울

유도 결합 플라즈마에서 비 침투적 간접적인 이온 에너지 분포 측정

오세진

12

2005.04

국내

한국물리학회 제81회 정기총회 및 연구논문발표회

서울

유도 결합 플라즈마에서의 Pumping 포트 위치와 잔류시간 (residence time) 효과 고찰

장성호

11

2004.9

국외

57th Gases Electronics Conference

Ireland(Clare)

Experimental Investigation on the difference between the plasma potential and the floating potential of the cylindrical probe in an inductively coupled plasmas

이원기

10

2004.06

국외

7th Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology

Japan

Experimental Investigation on the floating potential of cylindrical probe

이원기

9

2004.01

국내

한국물리학회 2004년도 임시총회 및 연구논문 발표회

제주

라디칼 소스용 ferrite ICP의 전기적 특성 연구

이원기

8

2004.1

국내

한국물리학회 2004년도 임시총회 및 연구논문 발표회

제주

플라즈마 밀도가 오염입자 성장에 미치는 영향 연구

김원기

7

2004.1

국내

한국물리학회 2004년도 임시총회 및 연구논문 발표회

제주

량뮤터 탐침 진단과 최근 연구 결과

정진욱

6

2003

국내

International Conference On Plasma Science 2003

제주

On Electron Heating Mechanism in Low Pressure High Density Inductively Coupled Plasma

정진욱

5

2002

국외

International Conference On Plasma Science 2002

Canada

Heating mode transition in E mode of ICP and evolution of the EEDF during the E-H Transition

정진욱

4

2001

국외

54th Gases Electronics Conference

U.S.A

Effect of pressure and gas species on Electron Cyclotron Resonance in a weakly magnetized Inductively Coupled Plasma

정진욱

3

2000

국외

53th Gases Electronics Conference

U.S.A

The electron cyclotron resonance in RF inductive discharge

정진욱

2

2000

국외

17th Symposium on Plasama Processing

Japan

Nonlocal electron kinetics in a planar inductive discharge

정진욱

1

1999

국외

52th Gases Electronics Conference

U.S.A

The effect of electron bounce resonance on EEDF in a solenoidal ICP

정진욱